Application Specific

スペルマンのカスタム電源や特定用途向け電源は、以下のような幅広い用途で使用されています：質量分析計、電子・イオンビーム源、給電装置、キャピラリゾーン電気泳動、電気紡糸、コンデンサ充電、静電チャック、イメージインテンシファイアなど。

質量分析

質量分析装置におけるイオン化、質量分離、および検出の各プロセスには高電圧電源が不可欠であり、小型かつカスタム化されたソリューションにおいて、高性能と極性反転機能の両立が求められています。スペルマン（spellman）は、標準品からカスタム品まで幅広い製品ラインナップを取り揃え、装置のあらゆる構成要素においてppmレベルの高性能な高電圧電源を提供しています。単機能モジュールから、複雑な多出力統合型電源まで幅広く対応し、アナログおよびデジタルインターフェースも選択可能です。スペルマンの豊富なアプリケーションに関する知見と独自の設計能力を活かし、低リップル・低微小放電、超低温度係数、あるいは高速な極性反転やセトリング時間など、質量分析装置メーカーの高度化する要求に応える精密な製品を設計・提供します。 tof（飛行時間型）、maldi-tof、四重極（quadrupole）、icp、イオントラップ、lc/gc-ms、イオンモビリティなど、あらゆるタイプの質量分析装置に必要な高電圧ソリューションに対応しています。質量分析のパンフレットをダウンロードするには、こちらをクリックしてください.

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精密電子ビーム／イオンビーム

electron beam and focused ion beam applications, while quite different, require very specialized high voltage power supplies with similar performance characteristics. the most critical requirements include ultra-low output ripple, excellent regulation, high stability, low temperature coefficients and high accuracy. the task becomes even more challenging since typical e-beam and fib power supplies consist of a variety of ground based and floating outputs. spellman has unparalleled experience designing and building products that not only meet these demanding specifications, but that are robust and reliable for long term, trouble free operation. the spellman vs100 and fib series shown below are representative of the products that we offer for these unique applications. feel free to contact us to discuss custom requirements or solutions.

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Eチャック (E CHUCK)

半導体および液晶パネルの製造プロセスでは、以前は真空チャックおよびメカニカルチャックシステムを使用して、取り扱い用の基板を固定してきました。しかし、吸着、歪みの影響、および信頼性の向上が求められるなか、これらを克服するために、静電力を利用するチャックが今の世代の半導体ファブ機器に広く採用されています。静電チャックは、プラテンとウェーハの間に静電力を設定するために高電圧でバイアスされた電極を備えたプラテンを備えています。クーロンタイプとジョンセンラーベックタイプの2種類の静電チャックがあります。これらは、誘電体の特性、したがってクランプ力の生成方法によって区別されます。クーロンチャックは、従来の誘電体コンデンサのように機能します。j-rタイプは抵抗が大きいが有限であるため、表面が接触して電圧が印加されると、j-rタイプと基板に電流が流れます。電荷は基板と誘電体の間の界面に蓄積し、クランプ力を提供します。. . さらに、チャック上の異なる数の電極（または極）は異なる特性を得る為に使用されます。用途に応じて、単極、双極（2極）、多極チャック（6相六極タイプを含む）があります。スペルマンは、次のような機能を備えたeチャックの全範囲に電源を提供しています。 • 高圧バイポーラ出力（正/負） • ウェーハのチャッキング/デチャッキングを容易にする出力極性反転機能 • 静電容量測定（クーロンチャック）または電流測定（j-rチャック）によるウェーハのチャッキング状態の検出機能 • さまざまなシステムとのインターフェースとなるアナログおよびシリアルインターフェース • 機械的リレーを排除した高電圧電源による高信頼性スペルマンは、広範な設計知識と製造能力を備えており、さまざまな要件を満たすカスタマイズされた製品にも対応することもできます。アプリケーションによっては、高圧バイアス/オフセット、およびカスタマイズされたソリューションも提供できるr.f.フィルタリングも含まれる場合があります。

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電力供給装置 (PFE)

スペルマンは、電気通信業界における給電装置の主要な独立系サプライヤーです。弊社の陸上、船上、携帯用給電装置（pfe）は、ケーブル敷設や修理作業中に、通信陸上局の海底光ファイバーケーブル中継器への給電に使用されます。陸上(pfe-hv と pfe-lv): 5kvから18kvまでのシステムが世界中に展開されており、最大限のアップタイムを実現するために、スペルマンの高い信頼性、冗長性、堅牢なpfeシステムを採用しています。短距離と長距離のケーブル・ランのニーズに対応するため、フル・スペクトラムの連続電力を提供するシステムが用意されています。海上(pfe-sb): 6kvから20kvまでのシステムは、世界中の主要なケーブル敷設船の多くに搭載され、ケーブル造船会社や船主に好まれる選択肢となっています。最新世代の船舶用給電装置は、現在、電子式極性反転機能を備えています。ポータブル (pfe-p): 4kvと6kvバージョンは、コンパクトな設置面積で、一貫した信頼性と安全性の高い高圧電力を提供します。pfe-pは、スペルマンの船舶用pfeと同じ高度なデジタル管理システムを搭載しています。 pfeカタログはこちらをクリックしてください。 next generation in land-based/shipborne power feed equipment（次世代の陸上・船舶上用給電機器）を読むにはこちらをクリックしてください。関連情報の動画. 海底光ファイバーケーブル敷設への挑戦について詳しく知りたい場合は、次のビデオをご覧ください。cbsテレビ”this morning”の” inside the installation of new undersea cable”（約5分）。スペルマンの給電高圧電源は、海底通信システムの重要な要素です。

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