EBM-TEG

熱電子放出SEM用のトライオード電源
高精度、低ノイズ、超安定
過電流/電圧保護
ＯＥＭカスタマイズ可能
UL、CE、RoHSに準拠

Certifications & Compliance

熱電子SEM用の三極真空管供給

EBM30N / TEGは、熱電子放出走査型電子顕微鏡（SEM）に必要な高電圧を提供する統合ソリューションです。スペルマン独自のパッケージングおよび封止化技術により、他のSEM電源製品と比較して、サイズ、コスト、およびパフォーマンスが劇的に向上します。このユニットは、ビームを制御するための加速電源を基準としたフローティングフィラメントおよびバイアス電源と

ともに、170uAで0〜-30kVにプログラム可能な高度に調整された低ノイズの超安定加速電源を提供します。ユニットには、PMT、シンチレータ、コレクタの接地出力を含む、検出器を駆動するための高電圧出力も含まれています。

プログラミング信号は、差動アナログ入力を利用して、外部ノイズとオフセット電圧の影響を最小限に抑えます。接地基準の放出電流モニターとフィラメント故障信号が提供されます。

仕様
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仕様

^{(Ref. 128031-001 REV. A)}

Input Voltage:
+24Vdc, ±5% @ 2.5A max.
Dimensions:
4.13˝ H x 9.85˝ W x 7.48˝ D (105mm x 250mm x 190mm) excluding the top mounting bracket
Weight:
16.5 lbs. (7.5kg)
Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UL/CUL recognized, File E354595. RoHS Compliant.

OUTPUT SPECIFICATIONS

Output	Accelerator (Internal Supply)	Bias Cancellation (Internal Supply)	Filament	PMT	Scintillator	Collector
Output Voltage	0 to -30kV, referenced to ground	0 to +3.5kV referenced to Accelerator*	-1.936 to +1.936V referenced to Accelerator	0 to -1300V referenced to ground	+8kV to +11kV referenced to ground	30V to 500V referenced to ground
Output current - max	170μA	150μA	3.87A	1mA (current trip level: 1.2mA)	250μA	5mA
Accuracy	±2% or ±20V (whichever is greater)	±10% or ±180V (whichever is greater)	0.1V	±2% or ±1V (whichever is greater)	±2%	±5%
Load Regulation	<100ppm for 0 to 170μA	N/A	<2% for 10% change in load resistance	<100ppm for 0 to 1mA	<500ppm for 0 to 250μA	<5% for 0 to 5 mA
Line Regulation for a ±5% line change	<100ppm	<0.1%	<1%	<100ppm	<500ppm	<5%
Ripple p-p at max output	<20ppm	<5ppm	<0.1%	<200mV	<0.1%	<0.2%
Temperature Coefficient	<100 ppm/°C	<1000 ppm/°C	<300 ppm/°C	<1000 ppm/°C	<100 ppm/°C	<1000 ppm/°C
Stability (1hr warm up)	8ppm/3min	1%/10min	100ppm/10min	200ppm/1h	500ppm/8h	<1500ppm/1h

モデル

ご注文方法

HOW TO ORDER

Description	Part Number
EBM-TEG	EBM30N/TEG
Low voltage mating connectors accessory Kit	13802-27
HV Out Cable - 2 meters	HVC30/3SO/1317
HV Out Cable - 3 meters	HVC30/3SO/1314
HV Out Cable - 5 meters	HVC30/3SO/1315
Scintillator Cable - 1 meter	HVC11/1SO/1320
Scintillator Cable - 2 meters	HVC11/1SO/1316

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主な用途：

走査型電子顕微鏡（SEM）
電子ビーム制御装置

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スペルマン修理センター、延長保証プログラム、予防保守プログラム、キャリブレーションサービスなどが含まれます。

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