FIB シリーズ
- 加速器・イオン源統合シャーシ
- 高性能グラウンドリファレンスレンズシャーシ
- 超低リップル、超安定出力
- 堅牢なアークおよびショートサーキット保護
- 微小放電イベントを最小化する設計
- 光学的に絶縁されたデジタルインターフェース
- CEマーク取得済み、SEMI S2準拠のデザイン
Certifications & Compliance
スペルマンのFIBシリーズは、集束イオンビームアプリケーション用に特別に設計された、統合された複数出力の高圧電源です。従来のGaイオンおよびプラズマソースを駆動するために、フローティング出力を備えた、高い安定性の加速電源が組み込まれています。
またイオンビームの集束に必要な、高性能の固定または極性反転を有するレンズ用高圧電源を提供する、追加のレンズシャーシが利用可能です。メインシャーシとレンズシャーシは、どちらも19インチラックに取り付け可能です。 集束イオンビームは、半導体産業、材料科学で使用されることが多いですが、材料のイメージング、エッチング、堆積のために生物学分野で使用されることが増えてきています。
メインシャーシは、最大35kVの加速電圧を提供し、フローティングフィラメント、エクストラクタ、およびサプレッサ出力を備え、すべてFIBアプリケーションの厳しい性能要件に合わせて設計されています。レンズシャーシは、固定または極性反転を有する、最大30kVのレンズ用電圧を提供します。
すべての出力は、超低出力リップル、優れたレギュレーション、安定性、温度係数、ドリフトおよび正確な仕様で提供されます。各フローティングソースの分離と制御は、スペルマン独自の高電圧分離技術によって提供されます。
お客様によるこの統合されたFIB電源システムの制御は、光ファイバーもしくはイーサネットインターフェイスを介して行われます。すべての高圧安全インターロックは、フェイルセーフハードウェアベースの設計です。
代表的なアプリケーション：
集束イオンビーム（FIB）
イオンガンコントローラー
- 仕様
- モデル
- ご注文方法
仕様
- Input Voltage:
+24Vdc, ±5% @ 5.5 amps maximum. Inrush is <6 amps for 1 second. - Weight:
Main chassis:
67.46 lbs. (30.6 kg)
Lens chassis:
27.56 lbs. (12.5 kg) - Main chassis: 6.97” H x 19.02” W x 17.94”D (177mm x 483mm x 456mm)
- Lens chassis: 1.75” H x 19.02” W x 15.95”D (45mm x 483mm x 406mm)
- Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.
OUTPUT SPECIFICATIONS
| MODULE | FIBC35 | LGM | |||
|---|---|---|---|---|---|
| OUTPUT | Accelerator | Filament | Suppressor | Extractor | Lens |
| Output Voltage | 0 to 35kV, referenced to ground | 0 to 5V referenced to Accelerator, current controlled | -2kV to +2kV referenced to Accelerator | 0 to -15kV referenced to Accelerator | 30kV max, referenced to ground, positive, negative or bipolar. (see Lens Module options table) |
| Output current max | 30μA | 5A | 30μA | 400μA | 30μA or 50μA (see config. table) |
| Output current limit | 30μA | current controlled | 30μA | programmable 8 bit, 0 to 400μA | 30μA or 50μA ( see config. table) |
| Output Absolute Accuracy | 100V | 5mA | 20V | 100V | 100V |
| Load Regulation | ±0.01% of max for 0 to 30μA change | ±0.1% of max for 0 to 5V change | ±0.01% of max for 0 to 30μA change | ±0.01% of max for 0 to 400μA change | ±0.005% of max for 0 to max rated current change |
| Line Regulation | 100mV for a 5% line change | 5mA for a 5% line change | 100mV for a 5% line change | 100mV for a 5% line change | 100mV for a 5% line change |
| Ripple p-p from 0.1Hz to 1MHz | 200mV at max output | 10mA | 150mV | 100mV at 30μA and below | 200mV for 30kV bipolar outputs.150mV for all other output ratings |
| Temperature Coefficient | 25 ppm/°C | 200 ppm/°C | 25 ppm/°C | 25 ppm/°C | 25 ppm/°C |
| Stability (after 2h warm up) | 1.5V / 10h | 5mA/10min | 0.5V / 10h | 0.5V / 10h | 1V / 10h |
モデル
LENS MODULES
| Available as Standard | Lens 1 Output | Lens 2 Output | ||
|---|---|---|---|---|
| Part number | Voltage | Current | Voltage | Current |
| LGM30P/25PN | 0V to +30kV | 30uA | -25kV to +25kV | 30uA |
| LGM30P/30P | 0V to +30kV | 30uA | 0V to +30kV | 30uA |
| LGM30P/25N | 0V to +30kV | 30uA | 0V to -25kV | 30uA |
| Available on Request | Lens 1 Output | Lens 2 Output | ||
| LGM20PN/30PN | -20kV to 20kV | 30uA | -30kV to +30kV | 30uA |
| LGM30N/25PN | 0V to -30kV | 30uA | -25kV to +25kV | 30uA |
| LGM20N/10N | 0V to -20kV | 50uA | 0 to -10kV | 50uA |
Please consult with factory for availability and custom configuration requests.
ご注文方法
HOW TO ORDER
| Description | Part number |
|---|---|
| FIB - Main Chassis | FIBC35 |
| LGM - Lens Chassis | See part number in the Models tab |
| FIBC to Lens Modules Interconnection kit | FIBK826 |
| FIBC HV Output cable | 2.8 meters: HVC30/4ISO/1209 5 meters: HVC30/4ISO/1297 |
| Lens HV Output cable | 5 meters: HVC30/1S/1253 |
| FIB communication kit | FIBK100 |
| Optical to RS-232 converter | 21777 |
代表的なアプリケーション：
- 集束イオンビーム（FIB）
- イオンガンコントローラー
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