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EBM60-FEG

フィールドエミッションSEM用テトロデサプライを内蔵
超低リップル、超安定出力
堅牢なアーク・短絡保護回路
微小放電を最小化する設計
RS-232デジタルインタフェース
テストおよび開発作業用の無料GUI
CE、UKCA、RoHSマーク取得済み

Certifications & Compliance

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フィールドエミッションSEM用テトロデサプライを内蔵

EBM60-FEGシリーズは、電界放出型走査電子顕微鏡（SEM）カラムの駆動用に特別に設計された一体型マルチ高圧電源装置です。スペルマンの広範なアプリケーション知識により、SEMの厳しい要求に応えるためにカスタマイズ可能な様々な技術プラットフォームを開発することができました。

主加速電圧は安定度の高い60kVで、電界放出、冷陰極、ショットキー電子源駆動に必要なフローティングフィラメント、エクストラクタ、サプレッサ出力が内蔵されています。すべての出力は、超低出力リップル、微小放電の最小化、優れたレギュレーション、安定性、温度係数、精度仕様で提供され、これまでにない画質と解像度を実現します。それぞれのフローティング・ソースの絶縁と制御は、スペルマン独自の高電圧絶縁技術によって行われます。

この統合されたEBM60-FEG電源システムは、RS-232インターフェースを介して制御することが可能です。CEおよびUKCAマーク付きです。

代表的なアプリケーション：
走査型電子顕微鏡(SEM)
電子ビームコントローラー

仕様
ご注文方法
ダウンロード

仕様

Input Voltage:
100 to 240 Vac ±10% @1A max. 50 to 60 Hz ±5%
Weight:
86 lbs. (39kg)
Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.
Dimensions:
8.66” H x 16.86” W x 19.70”D (220mm x 428mm x 500mm) including handles
Interlocks:
Two separate interlocks are provided:
Gun interlock: 24V output provided for an external volt free interlock
HV cable interlock: interlock plate mounted over the HV connector

OUTPUT SPECIFICATIONS

Output	Accelerator	Filament	Supressor	Extractor
Output Voltage	-200V to -60kV referenced to ground	nominal 1V max 1.5V referenced to Accelerator	-10V to -1kV referenced to Beam Energy	200V to 5kV referenced to Beam Energy
Output current - max	300μA	3A	100μA	500μA
Accuracy	±5V	±5mA (between 2A to 3A)	±14V	±2%
Linearity	< ± 5V between 500V and 60kV	±10mA	±14V	±2V
Load Regulation	<±10ppm for 30μA to 400μA	<5mA for 10% in load resistance	<± 100ppm for 10μA to 90μA	<± 100ppm for 10μA to 500μA
Line Regulation or a ± 10% line change	<±10ppm	<1mA	<±10ppm	<±10ppm
Ripple p-p at max. output	<120mVp-p at 1Hz to 1MHz	<40mAp-p 20Hz to 10kHz across 0.5Ω @ 2.5A	<10mVp-p at 1Hz to 1MHz	<50mV p-p at 1Hz to 1MHz
Temperature Coefficient	<20 ppm/°C at 60kV after 1h warm up	<20 ppm/°C	<50 ppm/°C	<25 ppm/°C
Stability (1h warm up)	<15ppm or 40mV (whichever is greater) /10min	<30ppm/10min and 5mA/3 months @ 2.5A	<100ppm/10min	<20ppm/10min

ご注文方法

HOW TO ORDER

Description	Part Number
EBM60-FEG	EBM60N18/FEG
HV Output Cable - 3 meters	HVC75/4SO/1365
HV Output Cable - 4 meters	HVC75/4SO/1366

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代表的なアプリケーション：

走査型電子顕微鏡(SEM)
電子ビームコントローラー

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