Eチャック (E CHUCK)
半導体および液晶パネルの製造プロセスでは、以前は真空チャックおよびメカニカルチャックシステムを使用して、取り扱い用の基板を固定してきました。しかし、吸着、歪みの影響、および信頼性の向上が求められるなか、これらを克服するために、静電力を利用するチャックが今の世代の半導体ファブ機器に広く採用されています。
静電チャックは、プラテンとウェーハの間に静電力を設定するために高電圧でバイアスされた電極を備えたプラテンを備えています。
クーロンタイプとジョンセンラーベックタイプの2種類の静電チャックがあります。これらは、誘電体の特性、したがってクランプ力の生成方法によって区別されます。クーロンチャックは、従来の誘電体コンデンサのように機能します。J-Rタイプは抵抗が大きいが有限であるため、表面が接触して電圧が印加されると、J-Rタイプと基板に電流が流れます。電荷は基板と誘電体の間の界面に蓄積し、クランプ力を提供します。
さらに、チャック上の異なる数の電極（または極）は異なる特性を得る為に使用されます。用途に応じて、単極、双極（2極）、多極チャック（6相六極タイプを含む）があります。
スペルマンは、次のような機能を備えたeチャックの全範囲に電源を提供しています。
- 高圧バイポーラ出力（正/負）
- ウェーハのチャッキング/デチャッキングを容易にする出力極性反転機能
- 静電容量測定（クーロンチャック）または電流測定（J-Rチャック）によるウェーハのチャッキング状態の検出機能
- さまざまなシステムとのインターフェースとなるアナログおよびシリアルインターフェース
- 機械的リレーを排除した高電圧電源による高信頼性
スペルマンは、広範な設計知識と製造能力を備えており、さまざまな要件を満たすカスタマイズされた製品にも対応することもできます。アプリケーションによっては、高圧バイアス/オフセット、およびカスタマイズされたソリューションも提供できるR.F.フィルタリングも含まれる場合があります。
In addition, different configurations of electrodes (or poles) on the chuck are used to get different characteristics.
Monopolar, bipolar (two poles) and multipolar chucks (including 6 phase hexapolar types) are available depending on the application.
Spellman can provide power supplies for the complete range of e-chucks with features that include:
- high-voltage bipolar outputs (positive/negative),
- output polarity reversal functions for easier wafer chucking/de-chucking,
- capability to detect the state of the wafer by capacitance measurement (Coulomb chucks) or current measurement (J-R chucks),
- analogue and digital interfaces for easy integration into a variety of systems
- high reliability, mechanical relay free designs.
Spellman offers extensive design knowledge and manufacturing capabilities, and so can provide a broad range of customized products to satisfy a variety of requirements. Depending on the application this may also include options such as high voltage biasing/offset and R.F. filtering.
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