EBM-FEG

電界放出SEM用のTetrode電源を統合
非常に低いリップルと超安定出力
堅牢なアーク及び短絡保護
微小放電イベントを最小限に抑える設計
光学的に絶縁されたデジタルインターフェース
テストおよび開発作業用の無料GUI
UL認証、CEマーク、およびSEMIS2に適合するよう設計

Certifications & Compliance

SEMアプリケーション向けOEMモジュール

スペルマンのEBM-FEGシリーズは、走査型電子顕微鏡（SEM）カラムを駆動するために特別に設計された、統合された複数出力の高圧電源です。スペルマンの広範なアプリケーション知識により、SEMの厳しい要件を満たすようにカスタマイズできる、さまざまなテクノロジープラットフォームを開発することができました。

主な加速電圧は安定性の高い30kV電源であり、19インチラックに取り付けるエクステンダーを備えたコンパクトなソリューションで電界放出、冷陰極、ショットキー電子源を駆動するために必要な統合フローティングフィラメント、エクストラクター、サプレッサー出力を備えています。すべての出力は、超低出力リップル、最小の微小放電、優れたレギュレーション、安定性、温度係数、および前例のない画質と解像度の精度仕様で提供されます。それぞれのフローティングソースの分離と制御は、スペルマン独自の高圧分離技術によって提供されます。

この統合されたEBM-FEG電源システムのお客様による制御は、光ファイバーRS-232インターフェースを介して行われます。すべての高圧安全インターロックは、フェイルセーフハードウェアベースの設計です。ユニットはULおよびCEマークが付けられており、SEMI規格に準拠するように設計されています。

用途

走査型電子顕微鏡（SEM）

電子ビームコントローラー

仕様
モデル
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仕様

^{(Ref. 128136-001 REV. C)}

Input Voltage:
+24Vdc, ±5% @ 4 amps maximum. Inrush is <6 amps for 1 second.
Vacuum Interlock:
The vacuum interlock is an optical interlock which is made when light is present on the fiber. When no light is present the interlock is broken and the unit disables all of the outputs.
Weight:
44 lbs. (20kg)
Dimensions:
5.25” H x 13.75” W x 14.20”D (133mm x 349mm x 361mm)
Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UL/CUL recognized, File E354595. RoHS Compliant.

OUTPUT SPECIFICATIONS

OUTPUT	Beam Energy	Filament	Suppressor	Extractor
Output Voltage	-20V to -30kV referenced to ground.	nominal 1.8V max 3V referenced to Beam Energy	-100V to -1kV referenced to Beam Energy	100V to 10kV referenced to Beam Energy
Output current - max	200μA	3A	100μA	700μA
Accuracy	<1% or ±10V (whichever is greater)	±5mA (between 2A to 3A)	<2% or ±6V (whichever is greater)	<1% or ±20V (whichever is greater)
Linearity	<± 25V	±10mA (between 0.5A to 3A)	±5V	±20V
Load Regulation	<±100mV for 30μA to 200μA	<5mA for 0.4Ω to 1Ω change at 3A	<120mV for 10μA to 100μA	<100mV at 40μA 0.1Hz to 20MHz, <1V at 10 - 700μA
Line Regulation for a ± 5% line change	<10ppm	<1mA	<5ppm	<5ppm
Ripple p-p at max. output	<50mVp-p 0.1Hz to 20MHz	<1mAp-p 20Hz to 10kHz <30mVp-p at approx 100kHz	<20mVp-p at 0.1Hz to 20MHz	<100mV p-p at 0.1Hz to 20MHz
Temperature Coefficient	<5 ppm/°C from 20°C to 30°C, <10 ppm/°C otherwise	<50 ppm/°C	<50 ppm/°C	<25 ppm/°C
Stability (1h warm up)	200mV/15min	<0.5mA/60min	<0.3V/15min	<0.3V/15min

モデル

ご注文方法

HOW TO ORDER

Description	Part Number
EBM-FEG	EBM30N6/FEG
Optical to RS-232 Communication Kit	EBMKFEG
Optical to RS-232 Converter (included in the above kit)	21777
HV Output Cable - 1.5 meters	HVC30/4ISO/1201
HV Output Cable - 2.8 meters	HVC30/4ISO/1197

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用途

走査型電子顕微鏡（SEM）
電子ビームコントローラー

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