ESCシリーズ

  • グランドリファレンス・リバーシブル出力
  • フローティング・極性反転出力
  • 包括的な故障診断
  • 高圧安全インターロック
  • OEM特注可能

静電チャック用高圧電源

 スペルマンのESCシリーズ静電チャック用電源は、静電チャッ クウエハー処理アプリケーションに必要なクリーンで正確な電圧 を提供します。この適切にカスタム設計された電源により 長時 間の処理サイクルでも、正確にウエハーを保持します。センター タップポイントを基準とした正確なフローティング両極性出力を 特徴とする、グランド基準リバーシブル出力を用いたバ エー ションを利用可能です。包括的な故障診断回路が、電源機能およ びユーザ・インターフェースへの通信状況データを監視します。 スペルマンESCシリーズ電源は、コンパクトで軽量なパッケー ジに収納 れており、設置面積を最小限に抑えたOEM用に設計 されています。

Specifications

(Ref. 128093-001 REV. B)

ESC5PN25 

Output Configuration:

Single ground referenced HV output, positive or negative polarity

Input:

+24Vdc, ±5% @ 2 amps, maximum

Output:

+2kV to -5kV. 2mA @ +2kV, 5mA @ -5kV

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

None, ground referenced output

Slew Rate:

80ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Overshoot:

<10% of set point value 

Ripple:

10Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<2% of set point value between 50-5000Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

1% of full scale, ±50mV

Dimensions:

9.W x 1.5.H x 6.1.L (228.6mm x 30.5mm x 155mm)

Weight:

4.5lbs. (2kg)

ESC01.5PN7.5

Output Configuration:

Floating, reversible polarity bipolar output with floating center tap

Input:

+24Vdc, ±10% @ 2 amps, maximum

Output:

Bipolar, 0 to ±750Vdc (0 to 1500Vdc total) @ 5mA

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

Center tap is isolated for ±2kV from ground

Slew Rate:

40ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Ripple:

2.5Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<1% of set point between 50-1500Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

0.5% of full scale, ±50mV

Dimensions:

3.4.W x 3.H x 10.5.L (86.5mm x 76.5mm x 266.7mm)

Weight:

5lbs. (2.3kg)

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.