MSC2.5PN7.5シリーズ

Ｅチャックアプリケーション用の特別設計
反対極性の 2 つのリバーシブル出力
定格2.5kV 3mA、振幅は個別に設定
ユーザーによる校正が可能な自動デチャック機能
20nFの負荷容量を駆動する300mSのスルータイム
ボタンとLCDディスプレイによるフロントパネル制御
RS-232、RS-485、およびイーサネットインターフェイス
テストおよび開発作業用の無料 GUI

Certifications & Compliance

MSC2.5PN7.5静電チャック電源

MSC2.5PN7.5は、静電チャッククランプアプリケーション用に特別に設計されたバイポーラリバーシブル電源です。2つの高圧出力コネクタには、極性が反対の2つの0〜2500ボルト@ 7.5ワットのリバーシブル出力があります。プログラミングボタンとOLEDディスプレイを介したフロントパネルの制御により、ユニットのローカル操作と制御が可能になります。RS-232 / RS-485 / イーサネットデジタルインターフェースにより、複雑なシステム設計への単純なOEM統合が可能になります。

仕様
ご注文方法

仕様

Input:
+24Vdc ±5% @ <2 amps. Switch controlled on front panel and fuse protected.
High Voltage Output 1 and Output 2 Voltage:
0 to ±2500 volts. Output 1 and 2 amplitudes are independently programmable
Current:
0 to 3mA
Polarity:
Bipolar, High Voltage Output 1 polarity always opposite of High Voltage Output 2
Dimensions:
12.45˝ L x 8.03˝ W x 3.46˝ D (316mm x 204mm x 88mm)
Weight:
3.09lbs. (1.4kg)
Protection:
Arc and short circuit protected. Equipped with input and output current limits. Output current limit settable from 0.1mA to 3mA.
Not designed to withstand continuous arcing.
Auto-Toggle/De-Chucking Function:
This unit has both a manual and a customer configurable automatic toggle function (degauss/de-chuck).
Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.

ご注文方法

How to Order:
MSC Power Supply: PART NO.: MSC2.5PN7.5
Power input cable, 3m: PART NO.: HVC05/2NSO/1229
HV Output cable, 3m: PART NO.: HVC5/1ISO/1228
Set of brackets for rack mount: PART NO.: MSCK100

主な用途:

静電チャック
静電気応用

サービスソリューション　パンフレット

スペルマン修理センター、延長保証プログラム、予防保守プログラム、キャリブレーションサービスなどが含まれます。

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