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走査型電子顕微鏡(SEM)

スペルマンはこの用途に広範な知見を持ち、そのため厳しい電子ビームの要件を満足するようにカスタマイズできる幅広いテクノロジープラットフォームを開発することができました。スペルマンのEBM群にはほとんどのエミッターを駆動するソリューションがあり、これにはタングステンとLaB6や、コールドカソードやショットキーなどの電界放出タイプが含まれます。製品にはすべて不可欠な出力が加速電圧とエミッター駆動電圧を提供し、また多くは電子顕微鏡と共に用いられる多くの検出器を駆動するHV出力も備えています。スペルマンの低リップルと低マイクロ放電、ppm未満の安定性などの比類のない性能が内蔵されておれ、究極の画質と分解能を、高い再現性と信頼性を有するメーカーから得られます…スペルマン。

EBM-TEG

Power:

5W - 5W

Voltage:

30kV - 30kV

EBM-FEG

Power:

6W - 6W

Voltage:

30kV - 30kV

EBM-TEGR

Power:

12W - 12W

Voltage:

30kV - 30kV

EBM60-FEG

Power:

18W - 18W

Voltage:

60kV - 60kV

EBM20N5/24

Power:

5W

Voltage:

20kV