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EBM-TEGR

熱電子放出SEM用三極管電源
高精度、低ノイズ、優れた安定性
過電流/電圧、アーク、短絡保護機能付き
RS-232またはRS-485デジタルインタフェース
テスト、開発用フリーGUI
OEMによるカスタマイズが可能
CE、UKCA、RoHSに準拠

Certifications & Compliance

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熱電子放出SEM用三極電源内蔵型

EBM-TEGRは、熱電子放出型走査電子顕微鏡（SEM）に必要な高電圧を、19インチラックマウント可能なシャーシに搭載した統合ソリューションです。

スペルマン独自のパッケージングおよびカプセル化技術により、他のSEM電源製品と比較して、サイズ、コスト、および性能の面で劇的な改善を実現しています。

このユニットは、高レギュレーション、低ノイズ、超安定したアクセラレータ電源を提供し、400uAで最大-30kVまでプログラム可能です。加速器に接続されたフローティングフィラメントおよびグリッド電源とともに、ビームを制御します。また、検出器を駆動するための高電圧出力も備えており、PMT、シンチレータ、コレクタ接地出力で構成されています。

この統合されたEBM-TEGR電源システムのお客様による制御は、RS-232またはオプションのRS-485インターフェースを介して行われます。5つのインターロックが用意されています。このユニットは、CEおよびUKCAマークが付いています。

仕様
モデル
ご注文方法
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仕様

Input Voltage:
100 to 264 Vac @2A max. 47 to 63Hz
Output Voltage
Accelerator (EHT): -100V to -30kV, referenced to ground
Filament : 5V max, 15W max center tapped to the Accelerator
Grid: -35V to -1650V referenced to Accelerator
PMT: 0V to -1300V referenced to ground
Scintillator: +50V to +11kV referenced to ground
Collector: -400V to +400V referenced to Accelerator
Output current - max
Accelerator (EHT): 400μA
Filament: 5A
Grid: 400μA
PMT: 1mA (current trip level:1.2mA)
Scintillator: 200μA
Collector: 4μA
Dimensions: 4.53” H x 17.33” W x 12.01”D (115mm x 440mm x 305mm)
Weight:
39.7 lbs. (18kg)
Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.

モデル

OUTPUT SPECIFICATIONS

OUTPUT	Accelerator (EHT)	Filament	Grid	PMT	Scintillator	Collector
Output Voltage	-100V to -30kV, referenced ground	5V max, 15W max center tapped to the Accelerator	-35V to -1650V referenced to Accelerator	0V to -1300V referenced to ground	+50V to +11kV referenced to ground	-400V to +400V referenced to ground
Output current - max	400μA	5A	400μA	1mA (current trip level: 1.2mA)	200μA	4μA
Accuracy	±2% or ±30V (whichever is greater)	±5% or ±100mA (whichever is greater)	N/A	±2% or ±1V (whichever is greater)	<1% or ±10V (whichever is greater)	±2% or ±2V (whichever is greater)
Load Regulation	<10ppm for 30μA to 400μA	<5mA for a 0.4Ω to 1Ω change at 3A	N/A	<±100ppm for 0 to 1mA	<100ppm for 10μA to 200μA	<5% for 0 to 5 mA
Line Regulation at full load ± 10% line change	<10ppm	<5mA	N/A	<100ppm	<100ppm	<10mV
Ripple p-p at max. output	<100mV	1mA at 50Hz 30mV at 100kHz at 3A,1Ω	N/A	<200mV	<100mV	<25mV
Temperature Coefficient	<50 ppm/°C	<300 ppm/°C	N/A	<100 ppm/°C	<250 ppm/°C	<50 ppm/°C
Stability (1h warm up)	<10 ppm/15min <25 ppm/1h	<2mA/1h	<0.4μA/15min	200 ppm/1h	<1%/1h	<50mV/15min

ご注文方法

HOW TO ORDER

Description	Part Number
EBM-TEGR	EBM30N12/TEGR
EBM-TEGR with RS-485 option	EBM30N12/TEGR/DCC4
HV Output cable - 4 meters	HVC75/3SO/1382

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iBeam eBeam パンフレット

主な用途：

走査型電子顕微鏡（SEM）
電子ビーム制御装置

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