FUENTE DE PODER DE ALTO VOLTAJE PARA CHUCK ELECTROSTATICO

Las fuentes de alimentación de la serie ESC de Spellman proporcionan voltajes limpios y precisos necesarios para las aplicaciones de procesamiento de obleas de chuck electrostático. Estos suministros diseñados a medida y bien regulados aseguran con precisión la oblea durante largos ciclos de proceso. Las versiones están disponibles con una salida reversible con referencia a tierra, además de unidades con una salida bipolar flotante verdadera con un punto asociado de derivación central flotante. El circuito de diagnóstico completo de fallas monitorea la funcionalidad de la fuente de alimentación y comunica los datos de estado a la interfaz del usuario. Las fuentes de alimentación de la serie ESC de Spellman están alojadas en paquetes compactos y livianos diseñados para instalaciones OEM que requieren un espacio mínimo en la construcción del sistema.

Especificaciones

^{(Ref. 128093-001 REV. B)}

ESC5PN25 

Output Configuration:

Single ground referenced HV output, positive or negative polarity

Input:

+24Vdc, ±5% @ 2 amps, maximum

Output:

+2kV to -5kV. 2mA @ +2kV, 5mA @ -5kV

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

None, ground referenced output

Slew Rate:

80ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Overshoot:

<10% of set point value 

Ripple:

10Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<2% of set point value between 50-5000Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

1% of full scale, ±50mV

Dimensions:

9.W x 1.5.H x 6.1.L (228.6mm x 30.5mm x 155mm)

Weight:

4.5lbs. (2kg)

ESC01.5PN7.5

Output Configuration:

Floating, reversible polarity bipolar output with floating center tap

Input:

+24Vdc, ±10% @ 2 amps, maximum

Output:

Bipolar, 0 to ±750Vdc (0 to 1500Vdc total) @ 5mA

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

Center tap is isolated for ±2kV from ground

Slew Rate:

40ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Ripple:

2.5Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<1% of set point between 50-1500Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

0.5% of full scale, ±50mV

Dimensions:

3.4.W x 3.H x 10.5.L (86.5mm x 76.5mm x 266.7mm)

Weight:

5lbs. (2.3kg)