SERIE ECHUCK
- Capacidad del producto de la plataforma
- Salida reversible con referencia a tierra
- Salida Bipolar Reversible Flotante
- Entrada de CC de +24 V CC
- 31 / 5,000 Diagnóstico integral de fallas
- Dispositivo de bloqueo de seguridad de alto voltaje
- Se requiere un número “X” personalizado
FUENTE DE PODER DE ALTO VOLTAJE PARA CHUCK ELECTROSTATICO
Las fuentes de alimentación de la serie ESC de Spellman proporcionan voltajes limpios y precisos necesarios para las aplicaciones de procesamiento de obleas de chuck electrostático. Estos suministros diseñados a medida y bien regulados aseguran con precisión la oblea durante largos ciclos de proceso. Las versiones están disponibles con una salida reversible con referencia a tierra, además de unidades con una salida bipolar flotante verdadera con un punto asociado de derivación central flotante. El circuito de diagnóstico completo de fallas monitorea la funcionalidad de la fuente de alimentación y comunica los datos de estado a la interfaz del usuario. Las fuentes de alimentación de la serie ESC de Spellman están alojadas en paquetes compactos y livianos diseñados para instalaciones OEM que requieren un espacio mínimo en la construcción del sistema.
- Especificaciones
Especificaciones
(Ref. 128093-001 REV. C)
- Output Configuration:
Single ground referenced HV output, positive or negative polarity - Input:
+24Vdc, ±5% @ 2 amps, maximum - Output:
+2kV to -5kV. 2mA @ +2kV, 5mA @ -5kV - Short Circuit Current Limit:
5.5mA, maximum - Output Isolation:
None, ground referenced output - Slew Rate:
80ms, typical - Maximum Cycle Frequency:
10 times per second - Overshoot:
<10% of set point value - Ripple:
10Vrms - Line Regulation:
±0.7% over specified range - Load Regulation:
±0.7% over specified range - Output Voltage Accuracy:
<2% of set point value between 50-5000Vdc - Program/Monitor Accuracy:
1% of full scale, ±50mV - Dimensions:
9.W x 1.5.H x 6.1.L (228.6mm x 30.5mm x 155mm) - Weight:
4.5lbs. (2kg)
TYPE 2 - Output Configuration:
Floating, reversible polarity bipolar output with floating center tap - Input:
+24Vdc, ±10% @ 2 amps, maximum - Output:
Bipolar, 0 to ±750Vdc (0 to 1500Vdc total) @ 5mA - Short Circuit Current Limit:
5.5mA, maximum - Output Isolation:
Center tap is isolated for ±2kV from ground - Slew Rate:
40ms, typical - Maximum Cycle Frequency:
10 times per second - Ripple:
2.5Vrms - Line Regulation:
±0.7% over specified range - Load Regulation:
±0.7% over specified range - Output Voltage Accuracy:
<1% of set point between 50-1500Vdc - Program/Monitor Accuracy:
0.5% of full scale, ±50mV - Dimensions:
3.4.W x 3.H x 10.5.L (86.5mm x 76.5mm x 266.7mm) - Weight:
5lbs. (2.3kg)
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