EBM-FEG
- Fuente de alimentación integrada de tetrodo para SEM de emisiones de campo.
- Rizo muy bajo y salidas ultra estables
- Protección robusta contra arcos y cortocircuitos
- Diseñado para minimizar los eventos de microdescarga.
- Interfaz digital ópticamente aislada
- GUI gratuita para pruebas y trabajos de desarrollo
- Reconocido por UL, marcado CE y diseñado para cumplir con SEMI S2.
Certifications & Compliance
Módulo Oem Para Aplicaciones SEM
La serie EBM-FEG de Spellman es una fuente de alimentación de alto voltaje de salida múltiple integrada diseñada específicamente para impulsar columnas de microscopio electrónico de barrido (SEM). El amplio conocimiento de las aplicaciones de Spellman nos ha permitido desarrollar una gama de plataformas tecnológicas que se pueden personalizar para satisfacer los exigentes requisitos de SEM.
El voltaje de aceleración principal es de 30 kV de alta estabilidad, con salidas flotantes integradas de filamento, extractor y supresor necesarias para impulsar la emisión de campo, el cátodo frío y las fuentes de electrones Schottky en una solución compacta con extensores para montar en un rack de 19 ̋. Todas las salidas se ofrecen con rizo de salida ultra baja, microdescarga mínima, excelente regulación, estabilidad, coeficiente de temperatura y especificaciones de precisión para una calidad de imagen y resolución sin precedentes. El aislamiento y control de las respectivas fuentes flotantes se proporciona a través de las técnicas de aislamiento de alto voltaje patentadas de Spellman.
El cliente realiza el control de este sistema de fuente de alimentación EBM-FEG integrado a través de una interfaz RS-232 de fibra óptica. Todos los sistemas de seguridad de alto voltaje son de un diseño basado en hardware a prueba de fallas. La unidad tiene la marca UL y CE y está diseñada para cumplir con los estándares SEMI.
Aplicaciones típicas:
Microscopios electrónicos de barrido (SEM)
Controlador de haz de electrones
- Especificaciones
- Modelos
- Cómo pedir
- Descargas
Especificaciones
(Ref. 128136-001 REV. C)
- Input Voltage:
+24Vdc, ±5% @ 4 amps maximum. Inrush is <6 amps for 1 second. - Vacuum Interlock:
The vacuum interlock is an optical interlock which is made when light is present on the fiber. When no light is present the interlock is broken and the unit disables all of the outputs. - Weight:
44 lbs. (20kg) - Dimensions:
5.25” H x 13.75” W x 14.20”D (133mm x 349mm x 361mm) - Regulatory Approvals:
Compliant to EEC Low Voltage Directive. UL/CUL recognized, File E354595. RoHS Compliant.
OUTPUT SPECIFICATIONS
| OUTPUT | Beam Energy | Filament | Suppressor | Extractor |
|---|---|---|---|---|
| Output Voltage | -20V to -30kV referenced to ground. | nominal 1.8V max 3V referenced to Beam Energy | -100V to -1kV referenced to Beam Energy | 100V to 10kV referenced to Beam Energy |
| Output current - max | 200μA | 3A | 100μA | 700μA |
| Accuracy | <1% or ±10V (whichever is greater) | ±5mA (between 2A to 3A) | <2% or ±6V (whichever is greater) | <1% or ±20V (whichever is greater) |
| Linearity | <± 25V | ±10mA (between 0.5A to 3A) | ±5V | ±20V |
| Load Regulation | <±100mV for 30μA to 200μA | <5mA for 0.4Ω to 1Ω change at 3A | <120mV for 10μA to 100μA | <100mV at 40μA 0.1Hz to 20MHz, <1V at 10 - 700μA |
| Line Regulation for a ± 5% line change | <10ppm | <1mA | <5ppm | <5ppm |
| Ripple p-p at max. output | <50mVp-p 0.1Hz to 20MHz | <1mAp-p 20Hz to 10kHz <30mVp-p at approx 100kHz | <20mVp-p at 0.1Hz to 20MHz | <100mV p-p at 0.1Hz to 20MHz |
| Temperature Coefficient | <5 ppm/°C from 20°C to 30°C, <10 ppm/°C otherwise | <50 ppm/°C | <50 ppm/°C | <25 ppm/°C |
| Stability (1h warm up) | 200mV/15min | <0.5mA/60min | <0.3V/15min | <0.3V/15min |
Modelos
Cómo pedir
HOW TO ORDER
| Description | Part Number |
|---|---|
| EBM-FEG | EBM30N6/FEG |
| Optical to RS-232 Communication Kit | EBMKFEG |
| Optical to RS-232 Converter (included in the above kit) | 21777 |
| HV Output Cable - 1.5 meters | HVC30/4ISO/1201 |
| HV Output Cable - 2.8 meters | HVC30/4ISO/1197 |
Descargas
Aplicaciones típicas:
- Microscopios electrónicos de barrido (SEM)
- Controlador de haz de electrones
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