物理的気相成長法

物理蒸着法は、さまざまな薄膜形成技術をカバーする用語であり、その多くは高電圧のDC電源を必要とします。スパッタリングと電子ビーム蒸着（e-beam evaporation）の2つが、一般的なPVDプロセスです。スペルマンは、どちらの技術にも対応した、汎用電源と特定用途向け電源の両方を提供しています。

スペルマンのEVAシリーズは、電子ビーム蒸着装置に最適な製品です。効率的で堅牢なソリッドステート回路を使用して設計されたこれらの電源は、アーク放電に対して高い耐性を持ち、ことなるプロセスや蒸着条件に合わせて最適化できるユーザー設定可能なアーク管理設定により、欠陥のない安定したコーティングを維持するのに役立ちます。EVAシリーズの電源は、フィラメント電源一体型や複数出力など、さまざまな構成があり、比類ない経済性と柔軟性を備えています。

電子ビーム蒸着用電源と同様に、安定したプラズマスパッタリングプロセスを行うためには、アーク放電に対する応答性が重要です。当社の標準ラックマウント型およびモジュール型電源の多くは、蓄積エネルギーの制限やアーク回復時間の調整など、スパッタリングでの使用に最適化することが可能です。プラズマスパッタリング用電源の要件は多岐にわたるため、お客様独自の仕様については、当社のアプリケーション専門家にご相談されることをお勧めします。