EBM20N5/24

電子ビームカラム用の三極管供給
高精度、低ノイズ、高安定性
過電流/過電圧保護
アークおよび短絡保護
OEMのカスタマイズ可能
CEおよびRoHS準拠、UL認証に適合するよう設計

*注：すべての仕様は予告なく変更される場合があります。最新のリビジョンについては、このデータシートの英語版PDF を参照してください。

2 Year Extended Warranty CE, ROHS, UL Marking

SEMアプリケーション用のOEMモジュール

EBM20は、熱電子走査電子顕微鏡のEビームカラムに電力を供給し、単一のコンパクトなパッケージで加速電源、バイアス電源、フィラメント電源を提供します。スペルマン独自の高圧パッケージングおよび封止化技術により、他のSEM電源製品と比較して、サイズ、コスト、パフォーマンスが劇的に向上します。EBM20は、200uAで0〜-20kVにプログラム可能な、高度に調整された低ノイズの高安定性アクセラレータ電源です。EBM20には、フローティングバイアス電源と、加速器を基準としたフィラメント電源があります。プログラミング信号は、差動アナログ入力を利用して、外部ノイズとオフセット電圧の影響を最小限に抑えます。接地基準の加速器電流モニターが提供されます。EBM20は、過電圧および過電流保護とともに、アークおよび短絡に耐性があります。

代表的なアプリケーション：

走査型電子顕微鏡

Specifications

^{(Ref. 128031-001 REV. D)}

SPECIFICATIONS:

Input Voltage:

+24Vdc, ±5%, 1.5A maximum

High Voltage Outputs:

ACCELERATOR:

Voltage:

0V to -20kV full load with respect to ground

Current:

250μA maximum (including feedback current), continuous
from -500V to -20kV.

Current Trip Level:

275mA, ±10%. Trips off all outputs, reset by cycling
i nput power

Accuracy (voltage program):

±1% from -500V to -20kV

Load Regulation:

<±100ppm, 20μA to 250μA load change

Line Regulation:

<±100ppm for 10% line change

Ripple:

<20ppm p-p at -20kV, 250μA, maximum bias and filament output

Temperature Coefficient:

<100ppm/°C

Stability:

30ppm/3 minutes at 100μA load current after 1 hour warm up

Rise Time (switch ON):

<3 seconds (0% to 90%) with no overshoot

Fall Time (switch OFF):

<100 seconds (to <50 volts)

BIAS:

(Referenced to Accelerator)

Voltage:

0 to +1.5kV (max allowable output limited to 2kV)

Current:

150µA maximum

Accuracy (voltage program):

±3% of full scale

Line Regulation:

<±0.1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p

Temperature Coefficient:

<1000ppm/°C

Stability:

1%/10 minutes

Rise Time (switch ON):

<3 seconds (0% to 90%) with no overshoot

Fall Time (switch OFF):

<100 seconds (to <50 volts)

FILAMENT:

(center voltage WRT accelerator output)

Power:

0 to 12W

Load Resistance:

1.33Ω ±5%

Accuracy:

±3% of FS

Load Regulation:

<1% for 10% change in load resistance

Line Regulation:

<1% for 10% line voltage change

Ripple:

<0.1% p-p max

Temperature Coefficient:

<300ppm/°C

Stability:

100ppm/10 minutes

INTERFACE:

Input:

Analog control for accelerator, filament and bias

High Voltage Output:

Custom 3 pin receptacle and cable assembly

Temperature:

Operating: 5°C to +40°C

Storage: -20°C to +50°C

Humidity:

20% to 85% RH, non-condensing

Dimensions:

10.63˝H x 2.36˝W x 7.87˝D (270mm x 60mm x 200mm) excluding any mounting brackets

Weight:

<10 lbs. (4.5kg)

Regulatory Approvals:

UL recognized component (RC). File number E354595. Compliant to IEC/UL 61010-1 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use; CAN/CSA-C22.2 No.61010-1. CE marked to EN 61010-1. UKCA marked to BS EN 61010-1. RoHS compliant. As the unit is designed for incorporation within the users system it is not tested against any specific EMC standards. The user will need to take sensible EMC precautions when designing the unit in and verify the overall system EMC performance against any relevant standards.

POWER INPUT CONNECTOR JHA2 3 PIN JST MODEL B 3PS-VH

Pin	Signal	Parameters
1	+24V High Voltage Power Input	+24Vdc Input
2	0V Input	+24Vdc Common
3	FG	Chassis Ground

CONTROL AND MONITORING CONNECTOR JHA3 10 PIN JST MODEL S10B-EH

Pin	Signal	Parameters
1	FIL PROG (+)	Filament Program (+) Input
2	GND	Ground
3	BIAS (+)	Bias (+) Input
4	GND	Ground
5	ACC PROG (+)	Acc Voltage Program (+) Input
6	GND	Ground
7	EMS	Emission Current Monitor Output
8	GND	Ground
9	ACC MON	ACC Voltage Monitor Output
10	GND	Ground