Litografía por haz de electrones/haz de iones
- Models from 1kV to 225kV
- 12kW Output Parallel Units for Higher Power
- Single 6U (10.5”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Chasis completo de 3U (5.25”, 133.35 mm)
- Modelos de 1 kV a 70 kV
- Interfaz remota analógica e interfaz Ethernet
- Configuraciones programables por el usuario a través de la interfaz Ethernet
- Chasis completo de 6U (10.5”, 266.7 mm)
- Modelos de 1 kV a 150 kV
- Interfaz remota analógica e interfaz Ethernet
- Configuraciones programables por el usuario a través de la interfaz Ethernet
- Muy compacta y ligera
- Rango de voltaje de 1 kV a 130 kV
- Extensas interfaces analógicas y digitales
- Elevación de polaridad reversible de hasta 8 kV
- Extinción/conteo/desconexión de arco
- Personalización disponible para OEM
- Fuente de alimentación de alto voltaje para haz de electrones de 100 kV
- Selección de corriente de salida baja/alta de 10 μA/100 μA
- Menos de 75 mV de rizo
- Excelente regulación y estabilidad de funcionamiento
- Diseño encapsulado sólido/libre de aceite
- Chasis de lente de alto rendimiento referenciado a tierra.
- Salidas con rizo muy bajo y ultra estables.
- Protección robusta contra arcos y cortocircuitos.
- Diseño para minimizar los eventos de micro descarga.
- Interfaz digital ópticamente aislada
- Marcado CE y diseñado para cumplir con SEMI S2.
- Suministro de triodo para columnas de haz de electrones
- Alta precisión, bajo ruido, ultra estable
- Protección contra sobrecorriente / voltaje
- Protección de arco y cortocircuito
- Personalización OEM disponible
- Cumple con CE y RoHS, diseñado para cumplir con UL
