収束イオンビーム（FIB）
スペルマンはFIB製品群の開発に当たり、nmレベルの分解能達成に要する性能を備えた内蔵高電圧電源でイオンビームカラム全体を駆動するようにしました。FIB製品群は高安定性加速電圧にフローティング出力を組み込み、従来のガリウムイオン源のみならず、ウィーンフィルター技術と共にプラズマとその他の多くの光源材料を駆動する19インチのラックソリューションとしてコンパクトにまとめました。別途レンズラックもご利用いただけ、カラムの収束に要する高性能の固定または極性反転電圧レンズを構成できます。
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- Gaイオン源とプラズマ源 FIB電源とレンズ
- 高精度加速器電源 35kV at 30 µA
- フィラメント、エクストラクター、サプレッサー出力
- グランドリファレンス レンズは最大30kV、固定または逆極性
- RS-232およびイーサネット・デジタル・インターフェイス
- テストおよび開発作業用の無料GUI
- CE、UKCAマーク取得、RoHS対応
