収束イオンビーム(FIB)
スペルマンはFIB製品群の開発に当たり、nmレベルの分解能達成に要する性能を備えた内蔵高電圧電源でイオンビームカラム全体を駆動するようにしました。FIB製品群は高安定性加速電圧にフローティング出力を組み込み、従来のガリウムイオン源のみならず、ウィーンフィルター技術と共にプラズマとその他の多くの光源材料を駆動する19インチのラックソリューションとしてコンパクトにまとめました。別途レンズラックもご利用いただけ、カラムの収束に要する高性能の固定または極性反転電圧レンズを構成できます。- 統合された加速器とイオンソースシャーシ
- 高性能接地基準レンズシャーシ
- 非常に低いリップルと非常に安定した出力
- 堅牢なアークおよび短絡保護
- 微小放電イベントを最小限に抑える設計
- 光絶縁デジタルインターフェイス
- CEマークおよびSEMI S2を満たすように設計