収束イオンビーム（FIB）
スペルマンはFIB製品群の開発に当たり、nmレベルの分解能達成に要する性能を備えた内蔵高電圧電源でイオンビームカラム全体を駆動するようにしました。FIB製品群は高安定性加速電圧にフローティング出力を組み込み、従来のガリウムイオン源のみならず、ウィーンフィルター技術と共にプラズマとその他の多くの光源材料を駆動する19インチのラックソリューションとしてコンパクトにまとめました。別途レンズラックもご利用いただけ、カラムの収束に要する高性能の固定または極性反転電圧レンズを構成できます。
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- Gaイオン・プラズマ源 FIB電源・レンズ
- 加速器、フィラメント、エクストラクタ、サプレッサ
- 精密加速器電源 35kV 30 µA
- グランドレフ レンズは最大30kV、固定または逆極性
- 複数のデジタルインターフェイス、テストGUI
- CEマーク取得済み、SEMI S2準拠の設計
