収束イオンビーム(FIB)

スペルマンはFIB製品群の開発に当たり、nmレベルの分解能達成に要する性能を備えた内蔵高電圧電源でイオンビームカラム全体を駆動するようにしました。FIB製品群は高安定性加速電圧にフローティング出力を組み込み、従来のガリウムイオン源のみならず、ウィーンフィルター技術と共にプラズマとその他の多くの光源材料を駆動する19インチのラックソリューションとしてコンパクトにまとめました。別途レンズラックもご利用いただけ、カラムの収束に要する高性能の固定または極性反転電圧レンズを構成できます。