초점 이온 빔 (FIB)

스펠만은 분해능 달성에 필요한 성능으로 완성 빔 칼럼을 구동하기 위해 통합된 고전압 공급 장치가 포함된 FIB 전원장치를 개발했습니다. FIB 제품군에는 높은 안정성의 가속기 전압이 부동 출력과 통합되어 소형 19인치 랙 솔루션에서 플라즈마 및 기타 많은 소스 재료와 함께 플라즈마 및 기타 소스 부하를 구동합니다. 추가로 렌즈 전원을 사용할 수 있으며, 칼럼 포커스에 필요한 고성능 고정 또는 가역성 극성 고전압 렌즈를 제공합니다.