ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (ФИП)
Компания Spellman разработала линейку ФИП со встроенными высоковольтными источниками питания для приведения в движение всей колонны ионного пучка с производительностью, необходимой для достижения нанометрового разрешения. Линейка устройств ФИП включает в себя высокостабильные напряжения ускорителя с плавающими выходами для управления традиционными ионными источниками Ga вместе с плазмой и многими другими исходными материалами в сочетании с технологиями Wien Filter в компактном 19-дюймовом исполнении для установки в стойку. Дополнительно используется блок ионной фокусировки, обеспечивающий высокую производительность с фиксированной или реверсивной полярностью для высоковольтных систем, требуемых для фокусировки ионного пучка.
- Встроенные блоки ускорителя и источника ионного излучения
- Высокоэффективный заземленный блок ионной фокусировки
- Минимальный уровень пульсаций и максимально стабильные выходные параметры
- Надежная защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Специальная система для сведения микроразрядов к минимуму
- Цифровой интерфейс с оптической развязкой
- Маркировка СЕ и соответствие требованиям SEMI S2
