ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (ФИП)
Компания Spellman разработала линейку ФИП со встроенными высоковольтными источниками питания для приведения в движение всей колонны ионного пучка с производительностью, необходимой для достижения нанометрового разрешения. Линейка устройств ФИП включает в себя высокостабильные напряжения ускорителя с плавающими выходами для управления традиционными ионными источниками Ga вместе с плазмой и многими другими исходными материалами в сочетании с технологиями Wien Filter в компактном 19-дюймовом исполнении для установки в стойку. Дополнительно используется блок ионной фокусировки, обеспечивающий высокую производительность с фиксированной или реверсивной полярностью для высоковольтных систем, требуемых для фокусировки ионного пучка.
Загрузить краткую брошюру по ионному/электронному пучку можно здесь.
- Источники питания и ионной фокусировки FIB для генераторов ионов галлия (Ga) и плазмы
- Ускоритель, нить накала, экстрактор и ограничитель
- Прецизионное питание ускорителя 35 кВ при 30 мкА
- Опорное заземление Линза с напряжением до 30 кВ с фиксированной или реверсивной полярностью.
- Несколько цифровых интерфейсов, графический интерфейс для тестирования
- Маркировка СЕ и соответствие требованиям SEMI S2
