聚焦离子束 (FIB)
Spellman 开发的 FIB 系列集成了高压电源，可驱动具有达到 nm 分辨率所需性能的完整离子射束柱。FIB 系列将高稳定性加速器电压与浮动输出相结合，可在紧凑的 19 英寸机架解决方案中驱动传统的镓离子源，当与维恩速度过滤器技术搭配使用时，还能驱动等离子和其他多种源材料。可使用额外的镜头架，提供聚焦射束柱所需的高性能固定极性或可逆极性高压镜头。
- 集成加速器和离子源机架
- 高性能地参考镜头机架
- 纹波非常低，输出非常稳
- 强健的电弧和短路保护
- 为最小化微放电事件专门设计
- 光隔离数字接口
- CE 标记和设计满足SEMI S2
