聚焦离子束 (FIB)

Spellman 开发的 FIB 系列集成了高压电源,可驱动具有达到 nm 分辨率所需性能的完整离子射束柱。FIB 系列将高稳定性加速器电压与浮动输出相结合,可在紧凑的 19 英寸机架解决方案中驱动传统的镓离子源,当与维恩速度过滤器技术搭配使用时,还能驱动等离子和其他多种源材料。可使用额外的镜头架,提供聚焦射束柱所需的高性能固定极性或可逆极性高压镜头。