Электронная/ионная литография
Применение электронного пучка и фокусированного ионного пучка (FIB), несмотря на то что они совершенно разные, требует специализированных высоковольтных источников питания с похожими техническими характеристиками. Наиболее важные требования включают ультранизкие пульсации на выходе, превосходное регулирование, высокую стабильность, низкие температурные коэффициенты и высокую точность. Задача усложняется тем, что стандартные источники питания для электронного луча и FIB состоят из множества заземленных и плавающих выходов. Компания Spellman обладает беспрецедентным опытом проектирования и изготовления оборудования, которое не только отвечает этим высоким требованиям, но и является надежным для длительной и бесперебойной работы.
Источники питания серии VS100 и FIB компании Spellman, представленные ниже, являются примером продукции, которую мы предлагаем для этих уникальных применений. Обращайтесь к нам, чтобы обсудить индивидуальные требования или решения.
- Триодный источник питания для электронно-лучевых колонн
- Высокая точность, низкий уровень шума, сверхвысокая стабильность
- Защита от сверхтока/перенапряжения
- Защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Соответствует требованиям EС, UL и RoHS
- Встроенные блоки ускорителя и источника ионного излучения
- Высокоэффективный заземленный блок ионной фокусировки
- Минимальный уровень пульсаций и максимально стабильные выходные параметры
- Надежная защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Специальная система для сведения микроразрядов к минимуму
- Цифровой интерфейс с оптической развязкой
- Маркировка СЕ и соответствие требованиям SEMI S2
- Исключительная компактность и малый вес
- Диапазон напряжения от 1 до 130 кВ
- Стандартное напряжение с реверсивной полярностью до 8 кВ
- Многофункциональный аналоговый и цифровой интерфейс
- Гашение дуги/счетчик разрядов дуги/защита от дуги
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- 12 кВт на одном шасси 6U (26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВт
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Параллельное соединение блоков для получения мощности больше 100 кВт
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций пользователем через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- Models from 1kV to 70kV
- 3kW Output
- Single 3U (5.25”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- 6 кВт в одном шасси с форм-фактором 6U (высота 26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВ
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Высоковольтный источник питания для электронного пучка
- Выходное напряжение 100 кВ
- Низковольтная/высоковольтная секция с выходным током 10 мкA / 100 мкA
- Пульсации менее 75 мв
- Превосходная стабильность
- Безмасляный/с твердотельной изоляцией
