E-Beam/I-Beam Lithography
- 12 кВт на одном шасси 6U (26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВт
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Параллельное соединение блоков для получения мощности больше 100 кВт
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций пользователем через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- Models from 1kV to 70kV
- 3kW Output
- Single 3U (5.25”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- 6 кВт в одном шасси с форм-фактором 6U (высота 26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВ
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Исключительная компактность и малый вес
- Диапазон напряжения от 1 до 130 кВ
- Стандартное напряжение с реверсивной полярностью до 8 кВ
- Многофункциональный аналоговый и цифровой интерфейс
- Гашение дуги/счетчик разрядов дуги/защита от дуги
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- Высоковольтный источник питания для электронного пучка
- Выходное напряжение 100 кВ
- Низковольтная/высоковольтная секция с выходным током 10 мкA / 100 мкA
- Пульсации менее 75 мв
- Превосходная стабильность
- Безмасляный/с твердотельной изоляцией
- Встроенные блоки ускорителя и источника ионного излучения
- Высокоэффективный заземленный блок ионной фокусировки
- Минимальный уровень пульсаций и максимально стабильные выходные параметры
- Надежная защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Специальная система для сведения микроразрядов к минимуму
- Цифровой интерфейс с оптической развязкой
- Маркировка СЕ и соответствие требованиям SEMI S2
- Триодный источник питания для электронно-лучевых колонн
- Высокая точность, низкий уровень шума, сверхвысокая стабильность
- Защита от сверхтока/перенапряжения
- Защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Сертифицирован на соответствие требованиям CE и RoHS, разработан в соответствии с требованиями UL
