Электронная/ионная литография
Применение электронного пучка и фокусированного ионного пучка (FIB), несмотря на то что они совершенно разные, требует специализированных высоковольтных источников питания с похожими техническими характеристиками. Наиболее важные требования включают ультранизкие пульсации на выходе, превосходное регулирование, высокую стабильность, низкие температурные коэффициенты и высокую точность. Задача усложняется тем, что стандартные источники питания для электронного луча и FIB состоят из множества заземленных и плавающих выходов. Компания Spellman обладает беспрецедентным опытом проектирования и изготовления оборудования, которое не только отвечает этим высоким требованиям, но и является надежным для длительной и бесперебойной работы.
Источники питания серии VS100 и FIB компании Spellman, представленные ниже, являются примером продукции, которую мы предлагаем для этих уникальных применений. Обращайтесь к нам, чтобы обсудить индивидуальные требования или решения.
- Ga Ion and Plasma Sources FIB Power Supply and Lens
- Precision Accelerator supply 35kV at 30 µA
- Filament, Extractor and Suppressor outputs
- Ground ref. Lens up to 30kV, fixed or reversed polarity
- RS-232 and Ethernet Digital Interfaces
- Free GUI for Testing and Development Work
- CE, UKCA Marked and RoHS Compliant
- Cold Cathode and Schottky Field Emission SEM
- Accelerator, Filament, Extractor and Suppressor
- Precision Accelerator supply -30kV at 200 µA
- Optical Vacuum Interlock
- Optically Isolated Digital Interface, test GUI
- UL Recognised, CE Marked and RoHS Compliant
- Встроенный блок питания тетрода для автоэмиссионного РЭМ
- Очень низкая пульсация и сверхстабильный выходной сигнал
- Надежная защита от дуги и короткого замыкания
- Разработан для сведения к минимуму случаев микроразряда
- Цифровой интерфейс RS-232
- Бесплатный графический интерфейс для тестирования и разработки
- Маркировка CE, UKCA и RoHS
- Triode Supply for Thermionic SEM
- Precision Accelerator supply -30kV at 170 µA
- Filament, Bias, PMT, Scintillator and Collector outputs
- Arc and Short Circuit Protection
- Differential Analog Control
- UL Recognised, CE Marked and RoHS Compliant
- Исключительная компактность и малый вес
- Диапазон напряжения от 1 до 130 кВ
- Стандартное напряжение с реверсивной полярностью до 8 кВ
- Многофункциональный аналоговый и цифровой интерфейс
- Гашение дуги/счетчик разрядов дуги/защита от дуги
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- 12 кВт на одном шасси 6U (26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВт
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Параллельное соединение блоков для получения мощности больше 100 кВт
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций пользователем через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- Модели от 1кВ до 70кВ
- Выходная мощность 3 кВт
- Одиночное шасси 3U (5,25 дюйма)
- Удаленный аналоговый и удаленный интерфейс Ethernet
- Настраиваемые пользователем настройки через интерфейс Ethernet
- 6 кВт в одном шасси с форм-фактором 6U (высота 26,67 см)
- Модели от 1 до 150 кВ
- Дистанционный аналоговый интерфейс и дистанционный интерфейс Ethernet
- Защита от дуги и короткого замыкания
- Настройка функций через интерфейс Ethernet
- Возможность изготовления в соответствии с требованиями производителя оригинального оборудования
- Нанолитография, микрооптика и проявочная маска
- Прецизионный выход -100 кВ, пульсация < 75="" мв="" />
- Выбор низкого/высокого выходного тока 10 мкА/100 мкА
- Отдельный монитор высокого напряжения
- Дистанционное аналоговое управление
- Маркировка CE и соответствие RoHS
