電子ビーム/イオンビームリソグラフィー
Electron beam and focused ion beam applications, while quite different, require very specialized high voltage power supplies with similar performance characteristics. The most critical requirements include ultra-low output ripple, excellent regulation, high stability, low temperature coefficients and high accuracy. The task becomes even more challenging since typical e-beam and FIB power supplies consist of a variety of ground based and floating outputs. Spellman has unparalleled experience designing and building products that not only meet these demanding specifications, but that are robust and reliable for long term, trouble free operation.
The Spellman VS100 and FIB Series shown below are representative of the products that we offer for these unique applications. Feel free to contact us to discuss custom requirements or solutions.
- Gaイオン源とプラズマ源 FIB電源とレンズ
- 高精度加速器電源 35kV at 30 µA
- フィラメント、エクストラクター、サプレッサー出力
- グランドリファレンス レンズは最大30kV、固定または逆極性
- RS-232およびイーサネット・デジタル・インターフェイス
- テストおよび開発作業用の無料GUI
- CE、UKCAマーク取得、RoHS対応
- 電界放出SEM用のTetrode電源を統合
- 非常に低いリップルと超安定出力
- 堅牢なアーク及び短絡保護
- 微小放電イベントを最小限に抑える設計
- 光学的に絶縁されたデジタルインターフェース
- テストおよび開発作業用の無料GUI
- UL認証、CEマーク、およびSEMIS2に適合するよう設計
- フィールドエミッションSEM用テトロデサプライを内蔵
- 超低リップル、超安定出力
- 堅牢なアーク・短絡保護回路
- 微小放電を最小化する設計
- RS-232デジタルインタフェース
- テストおよび開発作業用の無料GUI
- CE、UKCA、RoHSマーク取得済み
- 熱電子SEM用の三極真空管供給
- 精密加速電源は170 µAで-30kVを供給
- フィラメント、バイアス、PMT、シンチレータ、コレクタの出力
- アークおよび短絡保護
- 差動アナログ制御
- UL認定、CEマーク、RoHS対応
- 非常に小型で軽量
- 電圧範囲1kV～130kV
- 豊富なアナログ、デジタルインターフェイス
- 極性逆転可能基準電圧最大8kV
- アーク消去/アークカウント/アークトリップ
- OEMカスタム化可能
- Models from 1kV to 225kV
- 12kW in Single 6U (10.5”) Chassis
- Parallel Units for >100kWChassis
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- シングル3U (5.25インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～70kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- アーク保護、短絡保護
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- OEMカスタム化可能
- Nanolithography, Micro-optics and Development Mask
- Precision -100kV Output, Ripple < 75mV
- Low/High 10μA/100μA Output Current Selection
- Separate High Voltage Monitor
- Remote Analog Control
- CE Marked and RoHS Compliant
