電子ビーム/イオンビームリソグラフィー
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- 100kW超用パラレルユニット
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル3U (5.25インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～70kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- アーク保護、短絡保護
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- OEMカスタム化可能
- 非常に小型で軽量
- 電圧範囲1kV～130kV
- 豊富なアナログ、デジタルインターフェイス
- 極性逆転可能基準電圧最大8kV
- アーク消去/アークカウント/アークトリップ
- OEMカスタム化可能
- 100kV電子ビーム用高電圧電源
- 低/高10μA/100μA出力電流選択
- リップル75mV未満
- 優れた定電圧性と安定性
- オイル不使用、固形カプセル設計
- 統合された加速器とイオンソースシャーシ
- 高性能接地基準レンズシャーシ
- 非常に低いリップルと非常に安定した出力
- 堅牢なアークおよび短絡保護
- 微小放電イベントを最小限に抑える設計
- 光絶縁デジタルインターフェイス
- CEマークおよびSEMI S2を満たすように設計
- 電子ビームカラム用の三極管供給
- 高精度、低ノイズ、高安定性
- 過電流/過電圧保護
- アークおよび短絡保護
- OEMのカスタマイズ可能
- UL適合設計、CEおよびRoHS準拠
