電子ビーム/イオンビームリソグラフィー
Electron beam and focused ion beam applications, while quite different, require very specialized high voltage power supplies with similar performance characteristics. The most critical requirements include ultra-low output ripple, excellent regulation, high stability, low temperature coefficients and high accuracy. The task becomes even more challenging since typical e-beam and FIB power supplies consist of a variety of ground based and floating outputs. Spellman has unparalleled experience designing and building products that not only meet these demanding specifications, but that are robust and reliable for long term, trouble free operation.
The Spellman VS100 and FIB Series shown below are representative of the products that we offer for these unique applications. Feel free to contact us to discuss custom requirements or solutions.
- 電子ビームカラム用の三極管供給
- 高精度、低ノイズ、高安定性
- 過電流/過電圧保護
- アークおよび短絡保護
- OEMのカスタマイズ可能
- CEおよびRoHS準拠、UL認証に適合するよう設計
- 統合された加速器とイオンソースシャーシ
- 高性能接地基準レンズシャーシ
- 非常に低いリップルと非常に安定した出力
- 堅牢なアークおよび短絡保護
- 微小放電イベントを最小限に抑える設計
- 光絶縁デジタルインターフェイス
- CEマークおよびSEMI S2を満たすように設計
- 非常に小型で軽量
- 電圧範囲1kV～130kV
- 豊富なアナログ、デジタルインターフェイス
- 極性逆転可能基準電圧最大8kV
- アーク消去/アークカウント/アークトリップ
- OEMカスタム化可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- 100kW超用パラレルユニット
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル3U (5.25インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～70kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- アーク保護、短絡保護
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- OEMカスタム化可能
- 100kV電子ビーム用高電圧電源
- 低/高10μA/100μA出力電流選択
- リップル75mV未満
- 優れた定電圧性と安定性
- オイル不使用、固形カプセル設計
