E-Beam 리소그래피/집속 이온 빔
전자빔과 집속 이온빔 애플리케이션은 매우 다르지만 유사한 성능 특성을 가진 매우 특수한 고전압 전원 공급 장치가 필요합니다. 가장 중요한 요구 사항에는 초저출력 리플, 우수한 레귤레이션, 높은 안정성, 낮은 온도 계수 및 높은 정확도가 포함됩니다. 일반적인 전자 빔 및 FIB 전원 공급 장치는 다양한 접지 기반 및 부동 출력으로 구성되기 때문에 작업이 훨씬 더 어려워집니다. 스펠만은 이러한 까다로운 사양을 충족할 뿐만 아니라 장기간 문제없이 작동할 수 있도록 견고하고 신뢰할 수 있는 제품을 설계하고 제작하는 데 있어 탁월한 경험을 보유하고 있습니다.
아래에 표시된 스펠만 VS100 및 FIB 시리즈는 이러한 고유 한 애플리케이션을 위해 당사가 제공하는 제품을 대표합니다. 맞춤형 요구 사항 또는 솔루션에 대해 논의하려면 언제든지 문의하십시오.
- Ga Ion and Plasma Sources FIB Power Supply and Lens
- Precision Accelerator supply 35kV at 30 µA
- Filament, Extractor and Suppressor outputs
- Ground ref. Lens up to 30kV, fixed or reversed polarity
- RS-232 and Ethernet Digital Interfaces
- Free GUI for Testing and Development Work
- CE, UKCA Marked and RoHS Compliant
- Cold Cathode and Schottky Field Emission SEM
- Accelerator, Filament, Extractor and Suppressor
- Precision Accelerator supply -30kV at 200 µA
- Optical Vacuum Interlock
- Optically Isolated Digital Interface, test GUI
- UL Recognised, CE Marked and RoHS Compliant
- Integrated Tetrode Supply for Field Emission SEM
- Very Low Ripple and Ultra Stable Outputs
- Robust Arc and Short Circuit Protection
- Designed to Minimize Micro-discharge Events
- RS-232 Digital Interface
- Free GUI for Testing and Development Work
- CE, UKCA and RoHS Marked
- Triode Supply for Thermionic SEM
- Precision Accelerator supply -30kV at 170 µA
- Filament, Bias, PMT, Scintillator and Collector outputs
- Arc and Short Circuit Protection
- Differential Analog Control
- UL Recognised, CE Marked and RoHS Compliant
- Output Voltage from 1kV to 130kV
- Output Power from 10W to 1.2kW
- Very Compact and Lightweight
- Extensive Analog and Digital Interface
- Reversible Polarity Standard up to 8kV
- Arc Quench/Arc Count/Arc Trip
- Models from 1kV to 225kV
- 12kW in Single 6U (10.5”) Chassis
- Parallel Units for >100kWChassis
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Output Voltages from 1kV to 70kV
- Output Power 4 kW
- Single 3U (5.25”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Output Voltages from 1kV to 150kV
- Output Power 6kW
- Single 6U (10.5”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- Arc and Short Circuit Protected
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- Nanolithography, Micro-optics and Development Mask
- Precision -100kV Output, Ripple < 75mV
- Low/High 10μA/100μA Output Current Selection
- Separate High Voltage Monitor
- Remote Analog Control
- CE Marked and RoHS Compliant
