电子束/离子束光刻
- 单一的 6U (10.5”) 机箱
- 提供 1kV - 150kV 的型号
- 远程模拟和远程以太网接口
- 并联装置以实现 >100kW
- 用户可通过以太网接口配置设置
- Models from 1kV to 150kV
- 6kW Output
- Single 6U (10.5”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- Arc and Short Circuit Protected
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
- 集成加速器和离子源机架
- 高性能地参考镜头机架
- 纹波非常低，输出非常稳
- 强健的电弧和短路保护
- 为最小化微放电事件专门设计
- 光隔离数字接口
- CE 标记和设计满足SEMI S2
- 用于电子束列的三级电源
- 高精度、低噪声、超稳定
- 过电流/电压保护
- 电弧和短路保护
- 提供 OEM 定制
- 符合 CE 和 RoHS 标准，设计满足 UL
