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이온 주입
스펠만 하이볼테이지는 30 년 넘게 이온 빔 주입을 위한 고전압 전원 공급 장치의 선호 공급 업체였습니다. 스펠만의 SL 시리즈는 1kV-360kV @ 10 와트에서 2000 와트까지 전 세계의 주입기를 갖추고 있습니다. 특수 맞춤화를 통해 장치가 이온 빔 주입에 일반적인 극한 환경에서 작동할 수 있습니다. 스펠만의 ST 시리즈는 1kV-225kV @ 12kW이며 병렬 작동으로 현재와 미래의 주입기에 100kW 이상의 전력을 공급할 수 있습니다.
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