FIB

Серия Spellman FIB представляет собой встраиваемые высоковольтные источники питания с несколькими выходами, специально созданные для систем с фокусированным ионным пучком. Они вырабатывают стабильное напряжение ускорения ионов с плавающими выходами для питания традиционных источников ионного излучения (Ga) и генераторов плазмы.

Возможна установка дополнительного блока фокусировки ионного пучка в тех случаях, когда для такой фокусировки требуются высокоэффективные высоковольтные линзы с фиксированной или реверсивной полярностью. Основной блок и блок ионной фокусировки монтируются в стойке 19 дюймов. Системы с фокусированным ионным пучком преимущественно используются в полупроводниковой промышленности и материаловедении, а в последнее время все чаще применяются в биологии для визуализации, травления и напыления материалов.

Основной блок обеспечивает напряжение ускорения ионов до 35 кВ с выходами для регулируемого накала, экстрактора и ограничителя, в точности соответствующим требованиям систем с фокусированным ионным пучком (FIB). Блок ионной фокусировки обеспечивает напряжение на линзе до 30 кВ с фиксированной или реверсивной полярностью.

Все выходные параметры имеют ультранизкие пульсации и отличные технические характеристики по регулируемости, стабильности, температурному коэффициенту, дрейфу и точности.

Заказчик осуществляет управление настоящей интегрированной системой питания FIB по оптоволоконной связи. Все высоковольтные защитные блокировки имеют отказоустойчивую аппаратную конструкцию.

ОСНОВНОЕ ПРИМЕНЕНИЕ:

• Система фокусировки ионного пучка
• Контроллер ионной пушки

Технические характеристики

^{(Ref. 128029-001 REV. C)}

SPECIFICATIONS

Input Voltage:

+24Vdc, ±5% @ 5.5 amps maximum. Inrush is <6 amps for 1 second.

Environmental:

Operating Temperature:

+10°C to +45°C ambient for normal operation. The unit will operate from 0°C but will require an extended warm up period.

Storage Temperature:

-20°C to +60°C

Humidity:

0 to 80% RH, non-condensing

Altitude:

2000 meters ASL at full power. For altitudes above 2000 meters the maximum ambient operating temperature is linearly derated by 1.1˚C per 300 meter interval.

FIB Input Power Connector:

2 pin Mate-n-Lok (TE 1-350942-0) 

FIB Communication:

Fiber Optics dual channel Avago HFBR- 2524z/1524z. RS-232. Ethernet RJ-45 socket which supports 100BaseTX. When Ethernet port is connected, RS-232 will not work. A Spellman Fiber Optic to RS-232 converter can be ordered, as well as a complete Fiber Optic to USB communication kit.

FIB Vacuum Interlock Connector:

Dual channel Avago HFBR- 2524z (receiver) /1524z (transmitter)

FIB to Lens Modules Interconnection:

The modules are supplied with interconnecting cables for the power and communications. The same kit is used to connect the FIBC to the lens module, and, if required, between a lens module and the next.

FIB HV Output Connector:

The main high voltage output is fitted with a custom 4 pole receptacle. A Spellman HV cable assembly, available in different lengths, can be ordered with the unit.

Lenses HV Output Connectors:

The lenses are fitted with Lemo ERA3Y430CTL receptacles. A Spellman 5 meters mating HV cable assembly can be ordered with the units. (See the product manual for additional cables and connectors information)

Safety Interlocks:

The vacuum interlock is an optical interlock. When it opens, the power supply is deactivated via relay contacts and will not reactivate until it is enabled through the computer control, even though the interlock may close. The FIB communication remains operational.

The interlock plate is situated around the FIB HV Output connector, and if removed will also disable all outputs.

The individual modules of the HVPS can be enabled and disabled through computer control, provided the appropriate hardware interlocks are enabled.

Weight:

Main chassis: 67.46 lbs. (30.6 kg)
Lens chassis: 27.56 lbs. (12.5 kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to EEC Low Voltage Directive. UK Conformity Assessed. RoHS Compliant.

OUTPUT SPECIFICATIONS

Note 1:
This is the time taken for the output signal of a module to settle (to 0.2% of the step size, or 1 V (20 mA for the filament), whichever is greater) in response to a ±2% or less (of full scale) step in its output, as measured from when the output first starts to change.

Note 2:
Hard trip at 400μA in < 0.25s programmable trip delay (for when current at I limit) 0 to 255s, 8 bit res., (5s min, 20s default)

Note 3:
The above specifications do not apply in the range -500V to +500V

Note 4:
Wobble range: 2V to 2.5kV p-p, sinusoidal. If wobbling occurs near zero, the wobble waveform will be clipped so as to prevent crossing zero.

Wobble Period: 1s to 4s 

LENS MODULES

Please consult with factory for availability and custom configuration requests.

Таблицы и диаграммы

Lens Chassis

DIMENSIONS: in.[mm]

Main Chassis

DIMENSIONS: in.[mm]

TOP VIEW

FRONT VIEW

REAR VIEW

Lens Chassis

DIMENSIONS: in.[mm]

TOP VIEW

FRONT VIEW

REAR VIEW

HOW TO ORDER