VS100

  • 電子ビーム高圧電源装置
  • 100kV出力能力
  • 高 / 低 10μA / 100μA出力電流選択
  • 75mV以下のリップル
  • 優れたレギュレーションおよび安定性
  • オイル不使用 / ソリッドな密閉設計

電子銃 高圧電源

BertanブランドVS100高圧電源装置は精密な電子ビーム・ アプリケーション用に、たとえば半導体ナノ・リソグラフィ、ミ クロ光学、開発マスク・ワーク等のために特別に設計された装置 です。本装置の極めて低いリップルおよび優れた安定性は、厳し いアプリケーションでの使用に理想的です。スイッチにより ロー・レンジとハイ・レンジの出力電流範囲を選択出来ます。

 高圧セクションが固体でモールドされているので、ユーザによ るメンテナンス作業が不要となります。また環境の変化に対して も影響を受けにくくなります。本ユニットは過負荷、アーク、短 絡から完全に保護されています。リモート・コントロール・プロ グラミングおよびモニタリング機能を備えています。コントロー ル・エレクトロニクスから分離した第2の高圧モニタを備えてい ます。これにより高圧出力の正確な測定が可能になっています。

用途

  • ミクロ光学
  • 半導体リソグラフィ
  • 開発マスク・ワーク

CE Marking

Specifications

(Ref. 128045-001 REV. F)

Input Voltage:

220Vac, ±10%, single phase 50/60 Hertz

Output Voltage:

0 to 100kV, negative polarity. Externally switch selectable to 105kV, ±500 volts

Output Current:

0-10µA, low range

0-100µA, high range

Switch selectable

Line Regulation:

±0.001% of rated voltage over specified input voltage range

Load Regulation:

≤20V for a current change of 25μA to 60μA and 60μA to 25μA

Ripple:

≤75mV peak to peak

Partial High Voltage Discharge:

less than 200mV

Stability:

0.001% per 8 hours after a 6 hour warm up, for a temperature of 20°C ±0.2°C

Temperature Coefficient:

50ppm per degree C over a 10°C to 40°C range

Environmental:

Operating Temperature: 0 to 40 degrees C

Storage Temperature: -40 to 85 degrees C

Humidity: 10 to 90% RH, non condensing

Cooling:

Forced Air-control chassis;

Convection Cooled- high voltage chassis

Front Panel:

Power ON/OFF switch

HV ON/OFF switch 

HV ON/OFF indicator

Analog output voltage meter

Dimensions:

Control Chassis: 5.25. H X 19. W X 15.3. D (13.3cm X 48.3cm X 38.4cm)

HV Chassis: 10.25. H X 19. W X 27. D (26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)

Weight:

Control Chassis: 20 pounds (9kg)

HV Chassis: 116 pounds (50kg)

Interface Connector:

19 pin Burndy GOB1619SNE (mating connector provided)

AC Input Connector:

3 pin IEC320 input socket

Output HV Connector:

Claymount 2050-073

Output HV Cable:

Detachable at rear panel, cable not provided.

Regulatory Approvals: 

Compliant to 2004/108/EC, The EMC Directive and 2006/95/EC, The Low Voltage Directive.

REMOTE INTERFACE CONNECTOR

Pin Signal Signal Parameters
A -5V Reference -5.0 volts @ 10mA output
B Voltage Programming 0 to -5v = 0 to 100% rated output, Zin = 100KΩ
C Spare N/C
D Spare N/C
E Monitor Common Ground
F HV Stat TTL High = HV OFF, TTL Low = HV ON
G +5V 5 volts @ 250mA output
H Interlock Ground or TTL low to enable interlock
J Program Common Ground
K Spare N/C
L Spare N/C
M Spare N/C
N Spare N/C
P Voltage Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
R Current Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
S Spare N/C
T Spare N/C
U Spare N/C
V Spare N/C

Tables & Diagrams

DIMENSIONS: in.[mm]

FRONT VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 2)

TOP VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 4)

BACK VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 6)

HV CHASSIS

FRONT VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 3)

TOP VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 5)

BACK VIEW

VS100 電子銃 高圧電源 (Image 7)

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.