
VS100 СЕРИЯ
- Высоковольтный источник питания для электронного пучка
- Выходное напряжение 100 кВ
- Низковольтная/высоковольтная секция с выходным током 10 мкA / 100 мкA
- Пульсации менее 75 мв
- Превосходная стабильность
- Безмасляный/с твердотельной изоляцией
* Примечание: Все спецификации могут быть изменены без предварительного уведомления. Пожалуйста, ознакомьтесь с английской версией PDF этой спецификации для получения последней актуальной информации об оборудовании.
Высоковольтные источник питания с электронным лучом
Высоковольтный источник питания марки Bertan серии VS100 был разработан специально для высокоточных электроннолучевых систем, применяемых для полупроводниковой нанолитографии, микрооптики и разработки фотошаблонов. Низкие пульсации и высочайшая стабильность характеристик VS100 делают его идеальным вариантом для упомянутых систем с жесткими требованиями. Диапазон низкого или высокого напряжения выбирается переключателем.
Благодаря полной герметизации высоковольтной секции блок не требует технического обслуживания, при этом все компоненты надежно изолированы от окружающей среды. Устройство полностью защищено от перегрузки, дугового разряда и короткого замыкания. Обеспечивается дистанционное программирование и контроль. Имеется второй контроллер высокого напряжения, не входящий в схему управления. Это позволяет выполнять точные пассивные измерения высокого напряжения на выходе.
Типовые применения:
- Микрооптика
- Полупроводниковая литография
- Разработка фотошаблонов
Технические характеристики
(Ref. 128045-001 REV. H)
Input Voltage:
220Vac, ±10%, single phase 50/60 Hertz
Output Voltage:
0 to 100kV, negative polarity. Externally switch selectable to 105kV, ±500 volts
Output Current:
0-10µA, low range
0-100µA, high range
Switch selectable
Line Regulation:
±0.001% of rated voltage over specified input voltage range
Load Regulation:
≤20V for a current change of 25μA to 60μA and 60μA to 25μA
Ripple:
≤75mV peak to peak
Partial High Voltage Discharge:
less than 200mV
Stability:
0.001% per 8 hours after a 6 hour warm up, for a temperature of 20°C ±0.2°C
Temperature Coefficient:
50ppm per degree C over a 10°C to 40°C range
Environmental:
Operating Temperature: 0 to 40 degrees C
Storage Temperature: -40 to 85 degrees C
Humidity: 10 to 90% RH, non condensing
Cooling:
Forced Air-control chassis;
Convection Cooled- high voltage chassis
Front Panel:
Power ON/OFF switch
HV ON/OFF switch
HV ON/OFF indicator
Analog output voltage meter
Dimensions:
Control Chassis: 5.25. H X 19. W X 15.3. D (13.3cm X 48.3cm X 38.4cm)
HV Chassis: 10.25. H X 19. W X 27. D (26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)
Weight:
Control Chassis: 20 pounds (9kg)
HV Chassis: 116 pounds (50kg)
Interface Connector:
19 pin Burndy GOB1619SNE (mating connector provided)
AC Input Connector:
3 pin IEC320 input socket
Output HV Connector:
Claymount 2050-073
Output HV Cable:
Detachable at rear panel, cable not provided.
REMOTE INTERFACE CONNECTOR
Pin | Signal | Signal Parameters |
---|---|---|
A | -5V Reference | -5.0 volts @ 10mA output |
B | Voltage Programming | 0 to -5v = 0 to 100% rated output, Zin = 100KΩ |
C | Spare | N/C |
D | Spare | N/C |
E | Monitor Common | Ground |
F | HV Stat | TTL High = HV OFF, TTL Low = HV ON |
G | +5V | 5 volts @ 250mA output |
H | Interlock | Ground or TTL low to enable interlock |
J | Program Common | Ground |
K | Spare | N/C |
L | Spare | N/C |
M | Spare | N/C |
N | Spare | N/C |
P | Voltage Monitor | 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ |
R | Current Monitor | 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ |
S | Spare | N/C |
T | Spare | N/C |
U | Spare | N/C |
V | Spare | N/C |
Таблицы и диаграммы
DIMENSIONS: in.[mm]
FRONT VIEW
TOP VIEW
BACK VIEW
HV CHASSIS
FRONT VIEW
TOP VIEW
BACK VIEW