VS100

100kV電子ビーム用高電圧電源
低/高10μA/100μA出力電流選択
リップル75mV未満
優れた定電圧性と安定性
オイル不使用、固形カプセル設計

*注: すべての仕様は予告なく変更される場合があります。最新版についてはこのデータシートの英語PDFをご覧ください。

電子ビーム用高電圧電源

BertanブランドVS100高圧電源装置は精密な電子ビーム・アプリケーション用に、たとえば半導体ナノ・リソグラフィ、ミクロ光学、開発マスク・ワーク等のために特別に設計された装置です。本装置の極めて低いリップルおよび優れた安定性は、厳しいアプリケーションでの使用に理想的です。スイッチによりロー・レンジとハイ・レンジの出力電流範囲を選択出来ます。

高圧セクションが固体でモールドされているので、ユーザによるメンテナンス作業が不要となります。また環境の変化に対しても影響を受けにくくなります。本ユニットは過負荷、アーク、短絡から完全に保護されています。リモート・コントロール・プログラミングおよびモニタリング機能を備えています。コントロール・エレクトロニクスから分離した第2の高圧モニタを備えています。これにより高圧出力の正確な測定が可能になっています。

用途

ミクロ光学
半導体リソグラフィ
開発マスク・ワーク

Specifications

^{(Ref. 128045-001 REV. H)}

Input Voltage:

220Vac, ±10%, single phase 50/60 Hertz

Output Voltage:

0 to 100kV, negative polarity. Externally switch selectable to 105kV, ±500 volts

Output Current:

0-10µA, low range

0-100µA, high range

Switch selectable

Line Regulation:

±0.001% of rated voltage over specified input voltage range

Load Regulation:

≤20V for a current change of 25μA to 60μA and 60μA to 25μA

Ripple:

≤75mV peak to peak

Partial High Voltage Discharge:

less than 200mV

Stability:

0.001% per 8 hours after a 6 hour warm up, for a temperature of 20°C ±0.2°C

Temperature Coefficient:

50ppm per degree C over a 10°C to 40°C range

Environmental:

Operating Temperature: 0 to 40 degrees C

Storage Temperature: -40 to 85 degrees C

Humidity: 10 to 90% RH, non condensing

Cooling:

Forced Air-control chassis;

Convection Cooled- high voltage chassis

Front Panel:

Power ON/OFF switch

HV ON/OFF switch

HV ON/OFF indicator

Analog output voltage meter

Dimensions:

Control Chassis: 5.25. H X 19. W X 15.3. D (13.3cm X 48.3cm X 38.4cm)

HV Chassis: 10.25. H X 19. W X 27. D (26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)

Weight:

Control Chassis: 20 pounds (9kg)

HV Chassis: 116 pounds (50kg)

Interface Connector:

19 pin Burndy GOB1619SNE (mating connector provided)

AC Input Connector:

3 pin IEC320 input socket

Output HV Connector:

Claymount 2050-073

Output HV Cable:

Detachable at rear panel, cable not provided.

REMOTE INTERFACE CONNECTOR

Pin	Signal	Signal Parameters
A	-5V Reference	-5.0 volts @ 10mA output
B	Voltage Programming	0 to -5v = 0 to 100% rated output, Zin = 100KΩ
C	Spare	N/C
D	Spare	N/C
E	Monitor Common	Ground
F	HV Stat	TTL High = HV OFF, TTL Low = HV ON
G	+5V	5 volts @ 250mA output
H	Interlock	Ground or TTL low to enable interlock
J	Program Common	Ground
K	Spare	N/C
L	Spare	N/C
M	Spare	N/C
N	Spare	N/C
P	Voltage Monitor	0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
R	Current Monitor	0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
S	Spare	N/C
T	Spare	N/C
U	Spare	N/C
V	Spare	N/C