イオン注入
Spellman High Voltage has been the preferred provider of high voltage power supplies for ion beam implantation for over three decades. Spellman’s SL Series from 1kV-360kV @ 10 watts to 2000 watts have outfitted implanters around the world. Special customization allows the units to operate in the extreme environment typical for ion beam implantation. Spellman’s ST Series from 1kV-225kV @ 12kW, with parallel operation allowing powers of 100kW’s or more power the implanters of both today and tomorrow.
- 非常に小型で軽量
- 電圧範囲1kV～130kV
- 豊富なアナログ、デジタルインターフェイス
- 極性逆転可能基準電圧最大8kV
- アーク消去/アークカウント/アークトリップ
- OEMカスタム化可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- 100kW超用パラレルユニット
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル3U (5.25インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～70kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- シングル6U (10.5インチ) シャーシ
- モデル: 1kV～150kV
- リモートアナログ、リモートイーサネットインターフェイス
- アーク保護、短絡保護
- イーサネットインターフェイスでユーザー設定可能
- OEMカスタム化可能
