Электростатический держатель
В процессах производства полупроводников и жидкокристаллических панелей для фиксации подложки при перемещении традиционно используются вакуумные и механические системы держателей. Однако в современном поколении полупромышленного оборудования из-за эффектов поглощения, деформации и требования повышенной надежности широко применяются держатели, использующие электростатическую силу.
Электростатический держатель оснащен площадкой с электродами, на которые подается высокое напряжение для создания электростатической силы между площадкой и пластиной.
Существуют два типа электростатических держателей: кулоновский и Джонсона-Рабека. Они отличаются характеристиками диэлектриков и, следовательно, способом создания прижимного усилия. Кулоновский держатель функционирует как обычный диэлектрический конденсатор. Держатель Джонсона-Рабека имеет большое, но конечное сопротивление, поэтому через него и подложку протекает ток, когда поверхности находятся в плотном контакте и приложено напряжение. Заряд накапливается на поверхности между подложкой и диэлектриком, что обеспечивает прижимную силу.
Кроме того, для изменения характеристик используются разные конфигурации электродов (или полюсов) на держателе. В зависимости от области применения предлагаются однополярные, двухполярные (двухполюсные) и многополярные держатели (включая 6-фазные шестиполюсные типы).
Компания Spellman предлагает источники питания для всего спектра электростатических держателей с различными функциями, включающими:
- высоковольтные биполярные выходы (положительный/отрицательный),
- возможность изменения полярности выхода для облегчения процесса удержания/отпускания пластины,
- возможность определения состояния удержания пластины путем измерения емкости (кулоновские держатели) или тока (держатели Джонсона-Рабека),
- аналоговые и цифровые интерфейсы для легкой интеграции в различные системы,
- высокую надежность, исключающую применение механических реле.
Компания Spellman обладает обширными знаниями в области разработки и производственными ресурсами, поэтому может предложить широкий ассортимент продукции, изготовленной по индивидуальному заказу и отвечающей самым разным требованиям. В зависимости от применения источники могут включать в себя высоковольтное смещение/отклонение напряжения и радиочастотную фильтрацию.
- Специально разработан для систем c с электростатическим держателем
- Два реверсивных выхода противоположной полярности
- Номинальное амплитуды в 2,5 кВ, 3 мА устанавливаются независимо
- Настраиваемая пользователем функция автоматического расцепления
- Время нарастания 300 мс при емкости нагрузки 20 нФ
- Управление с передней панели с помощью кнопок и ЖК-дисплея
- Интерфейс RS-232, RS-485 и Ethernet
- Бесплатный графический интерфейс для тестирования и разработки
- Изменяемая полярность выходного питания относительноземли
- Плавающий обращаемый биполярный выход
- Вход +24 В пост. тока
- Комплексная диагностика неисправностей
- Защитная блокировка высокого напряжения
- Возможность изготовления по спецификациям заказчика
- Высокопроизводительный компактный модуль
- Программирование напряжения по цифровым или дифференциальным аналоговым входам
- Управление через интерфейс RS-232 или RS-485 в стандартной комплектации
- Выходная мощность 10 Вт
- Высокая стабильность, низкий уровень пульсации
- Встроенный цифровой осциллограф обеспечивает исключительно низкий уровень пульсации и шумов (вплоть до диапазона 1/f)
- Дифференциальный вход для программирования напряжения
- Возможность управления через RS-232 / RS-485
- Мониторинг и регулирование напряжения и тока
- Высокая стабильность, сверх низкие пульсации и шум
- Маркировка CE, сертифицирован в соответствии с требованиями UL61010-1
- Компактность и легкость конструкции
- Модели от 1 кВ до 160 кВ, 300 Вт, 600 Вт и 1200 Вт
- Универсальный вход, коррекция коэффициента мощности
- Недорогая модульная конструкция
- Стандартные цифровые интерфейсы: USB, Ethernet и RS-232
- Соответствует требованиям EC и UL
