정전척
반도체 및 액정 패널 제조 공정에서 진공 척 및 기계식 척 시스템은 일반적으로 기판을 고정하는 데 사용되었습니다. 그러나 흡착, 왜곡의 영향 및 신뢰성 향상에 대한 요구로 인한 한계를 극복하기 위해 오늘날의 반도체 팹 장비에서 정전기력을 활용하는 척이 널리 채택되고 있습니다.
정전척은 고전압으로 바이어스 되어 플래튼과 웨이퍼 사이에 정전기력을 만드는 표면 전극을 갖는 플래튼으로 구성됩니다.
Coulomb 및 Johnsen-Rahbek (J-R) 유형인 두 가지 유형의 정전 척을 사용할 수 있습니다. 이들은 유전체 특성과 척력이 생성되는 방식으로 구별됩니다. 쿨롱 척은 기존의 유전체 커패시터와 같은 기능을 합니다. J-R 유형은 크고 유한한 저항을 가지므로 표면이 밀착되고 전압이 인가될 때 전류가 기판과 기판을 통해 흐릅니다. 전하가 기판과 유전체 사이의 경계면에 축적되어 척력을 제공합니다.
또한 척의 다양한 전극(또는 극) 구성은 다른 특성을 얻기 위해 사용됩니다. 용도에 따라 단극, 양극(2 극) 및 다극 척(6상 6극 유형 포함)을 사용할 수 있습니다.
스펠만은 다음과 같은 기능을 갖춘 e-척의 전체 범위에 전원 공급 장치를 제공할 수 있습니다.
- 고전압 양극 출력 (양/음극)
- 웨이퍼 척킹/디척킹을 용이하게 하기 위한 출력 극성 반전 기능
- 커패시턴스 측정 (Coulomb Chucks) 또는 전류 측정 (J-R Chucks)을 통해 웨이퍼의 상태를 감지할 수 있는 기능
- 다양한 시스템에 쉽게 통합할 수 있는 아날로그 및 디지털 인터페이스
- 높은 신뢰성, 기계식 릴레이가 없는 설계
스펠만은 광범위한 디자인 지식과 제조 능력을 제공하므로 다양한 요구 사항을 충족하는 광범위한 맞춤형 제품을 제공할 수 있습니다. 어플리케이션에 따라 고전압 바이어스 /오프셋 및 R.F. 필터링과 같은 옵션도 포함될 수 있습니다.
- Specifically Designed for E-Chuck Applications
- Two Reversible Outputs of Opposite Polarity
- Rated 2.5kV 3mA. Amplitudes are Set Independently
- Automatic User Configurable De-chucking Function
- 300mS Slew Time Driving 20nF of Load Capacitance
- Front Panel Control via Buttons and LCD Display
- RS-232, RS-485 and Ethernet Interface
- Free GUI for Testing and Development Work
- Output Voltage 1.5kV - 5kV
- Output Power 7.5 W-25 W
- Ground Referenced, Reversible Output
- Floating, Reversible Bipolar Output
- Comprehensive Fault Diagnostics
- High Voltage Safety Interlock
- OEM Customization Available
- Extremely Compact 10W High Performance Module
- Multiple Control Interfaces: Differential Analog, RS-232 and RS-485
- Voltage and Current Monitors
- High Stability, Low TC
- Ultra Low Ripple and Noise, Down to 1/f Band
- Free GUI for Testing and Development Work
- Digital Control Features: Multiple Units Operation, Current Control, Status Flags and Wobbler Function
- Output Voltage 1kV to 30kV
- Output Power 10W
- Optional RS-232/RS-485 Control
- High Stability, Ultra Low Ripple and Noise
- CE Marked and UL61010-1 Certified
- Output Voltage from 1kV-160kV
- Output Power 300W, 600W AND 1200W
- Compact & Lightweight
- USB,Ethernet and RS-232 Standard Interfaces
- CE Compliant, UL Recognized
