Ion Milling (イオンミリ)

は高圧電源を使って低圧ガスをイオン化することでこれを加速させ、中性粒子を発生させて、運動プロセスまたは化学プロセスを介して試料に衝撃を与え、試料原子を除去する中性原子線をつくる。