E-Beam Evaporation (電子ビーム蒸着)

は、電子ビームが材料（絶縁体や導線）を真空状態で溶かし、それによって材料を気相にし、真空チャンバ内の物質を供給量制御が可能な超微粒霧で被覆するコーティングプロセスである。