新製品の静電ウエハ・チャックモジュール、ESCシリーズを発表

June 28, 2011

2011年6月28日 – スペルマン ハイ・ボルテージ エレクトロニクス コーポレーション(本社:米国ニューヨーク)は、静電チャック電源の新製品、ESCシリーズを発表いたしました。

ESCシリーズは、クリーン、精密で要求電圧を管理しやすく、半導体の静電ウエハ・チャック用電源です。

ESC

 

この安定化電源は、長いホールド・サイクル中でも、チャックを効果的に留めます。グランドを基準に極性を反転するのに加え、フローティングポイントから両極反転も可能です。

包括的な不具合診断回路で電源の機能性をモニターし、状況のデータは、ユーザーのインターフェースで接続可能です。 ESC電源は、OEM用にコンパクト且つ軽量で、狭いスペースでも設置できるように設計されています。

ESCシリーズに関する技術的な情報はwww.spellmanhv.com/datasheets/esc をご覧ください。

その他製品に関するお問い合わせは、電話048-447-6500または、弊社のホームページwww.spellmanhv.co.jp をご覧ください。

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