Sputtering (Напыление)
процесс физического осаждения из паровой фазы для получения тонкой пленки на поверхности подложки, применяемый в производстве и научных исследованиях. Распыление происходит, когда молекулы ионизированного газа вытесняют атомы мишени. Эти атомы связываются на атомарном уровне с подложкой, образуя тонкую пленку.
