Sputtering (스퍼터링)

여러 가지 산업용 및 과학용 응용제품에 쓰일 기판에 얇은 필름을 부착하는 데 이용되는 물리적 증착 공정. 스퍼터링은 이온화된 가스 분자를 이용해 대상 물질의 원자들을 제거하는 경우에 발생됨. 이 원자들은 원자 수준에서 기판에 결합하여, 얇은 막을 만듬.