E-Beam Lithography (Электронно-лучевая литография)
технология создания интегральных схем путем нанесения структурного рисунка сканирующим электронным лучом, применяется при производстве полупроводников.
технология создания интегральных схем путем нанесения структурного рисунка сканирующим электронным лучом, применяется при производстве полупроводников.