EBM

  • Триодный источник питания для электронно-лучевых колонн
  • Высокая точность, низкий уровень шума, высокая стабильность
  • Защита от сверхтока/перенапряжения
  • Защита от дугового разряда и короткого замыкания
  • Возможность изготовления по спецификациям заказчика
  • Соответствует требованиям UL, CE и RoHS

Триодный высоковольтный источник питания для электронно-лучевых колонн

Модуль EBM предназначен для питания электронно-лучевых колонн в растровых электронных микроскопов, обеспечивая энергию для ускорения, смещения и накала в одном компактном корпусе. Запатентованная компанией Spellman топология и твердотельная изоляция системы высокого напряжения позволила существенно улучшить размеры, стоимость и эксплуатационные характеристики источника питания по сравнению с аналогами. Модуль EBM обеспечивает программируемое питание ускорителя от 0 до –30 кВ при 170 мА с эффективной регулировкой, низким уровнем шума и высокой стабильностью, а также, плавающее относительно ускорителя напряжение питания смещения и накала. Сигналы программирования подаются на дифферен- циальные аналоговые входы для минимизации влияния внешнего шума и напряжений смещения. В комплект входит контроллер тока ускорителя относительно земли. Модуль EBM устойчив к дуговому разряду и короткому замыканию, а также имеет защиту от перенапряжения и перегрузки по току.

Типовые применения:

  • Растровые электронные микроскопы

CE ROHS RU Marking

Технические характеристики

(Ref. 128031-001 REV. J)

Input Voltage:

+24Vdc, ±5%

High Voltage Outputs:

ACCELERATOR:

Voltage:

0V to -30kV full load with respect to ground

Current:

170µA maximum, continuous from -300V t0 -3kV

Accuracy:

±2% or ±15V (whichever is greater)

Load Regulation:

<±100ppm

Line Regulation:

<±100ppm for 22.8V to 26.4V line change

Ripple:

<15ppm p-p at -30kV, 170µA, maximum bias and filament output

Temperature Coefficient:

<100ppm/°C

Stability:

8ppm/3 minutes at 150µA load current after 1 hour warm up

BIAS:

(Referenced to Accelerator)

Voltage:

0 to +3.5kV (max allowable output limited to 2kV)

Current:

150µA maximum

Accuracy:

±5% of full scale

Line Regulation:

<±0.1% for 10% line change

Ripple:

<150mVp-p at 30kV, 150µA, max. bias and filament output

Temperature Coefficient:

<1000ppm/°C

Stability:

6V/10 minutes

FILAMENT:

(Referenced to Accelerator)

Power:

0 to 15W

Load Resistance:

1 ±5%

Accuracy:

±3% of FS or 0.1V, which ever is greater

Load Regulation:

<2% for 10% change in load resistance

Line Regulation:

<1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p max

Temperature Coefficient:

<300ppm/°C

Stability:

100ppm/10 minutes

INTERFACE:

Input:

Analog control for beam energy, filament and bias

Output:

Mini75 receptacle (Claymount CA11 or similar)

Temperature:

Operating: 0°C to +45°C

Storage: -20°C to +75°C

Humidity:

0 to 85% RH, non-condensing

Dimensions:

4.13.H x 9.85.W x 7.48.D (105mm x 250mm x 190mm) excluding any mounting brackets

Weight:

<22 lbs. (10kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to 2004/108/EC, the EMC Directive and 2006/95/EC, the Low Voltage Directive. UL/CUL recog­nized, File E227588. Compliant to 2002/95/EC, RoHS. RoHS compliant.

Таблицы и диаграммы

DIMENSIONS: in.[mm]

FRONT VIEW

EBM Триодный высоковольтный источник питания для электронно-лучевых колонн (Image 1)

TOP VIEW

EBM Триодный высоковольтный источник питания для электронно-лучевых колонн (Image 2)

SIDE VIEW

EBM Триодный высоковольтный источник питания для электронно-лучевых колонн (Image 3)

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.