КОМПЛЕКТНЫЙ МОДУЛЬ ДЛЯ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Модуль EBM20 обеспечивает питанием электронно-лучевые колонны в растровых электронных микроскопах, обеспечивая энергию для ускорения, смещения и накала в одном компактном корпусе. Запатентованная компанией Spellman топология и твердотельная изоляция системы высокого напряжения позволяет кардинально изменить размеры, стоимость и эксплуатационные характеристики источника питания в сравнении с другими источниками для РЭМ. Модуль EBM20 обеспечивает программируемое питание ускорителя от 0 до –20 кВ при 200 мА, с эффективной регулировкой, низким уровнем шума и высокой стабильностью. Модуль EBM20 обеспечивает плавающее относительно ускорителя напряжение питания смещения и накала. Сигналы программирования подаются на дифференциальные аналоговые входы для минимизации влияния внешнего шума и напряжений смещения. В комплект входит контроллер тока ускорителя относительно земли. Модуль EBM20 устойчив к дуговому разряду и короткому замыканию, а также имеет защиту от перенапряжения и перегрузки по току.

Стандартные применения:

• Стандартные применения:

Технические характеристики

^{(Ref. 128031-001 REV. D)}

SPECIFICATIONS:

Input Voltage:

+24Vdc, ±5%, 1.5A maximum

High Voltage Outputs:

ACCELERATOR:

Voltage:

0V to -20kV full load with respect to ground

Current:

250μA maximum (including feedback current), continuous
from -500V to -20kV.

Current Trip Level:

275mA, ±10%. Trips off all outputs, reset by cycling
i nput power

Accuracy (voltage program):

±1% from -500V to -20kV

Load Regulation:

<±100ppm, 20μA to 250μA load change

Line Regulation:

<±100ppm for 10% line change

Ripple:

<20ppm p-p at -20kV, 250μA, maximum bias and filament output

Temperature Coefficient:

<100ppm/°C

Stability:

30ppm/3 minutes at 100μA load current after 1 hour warm up

Rise Time (switch ON):

<3 seconds (0% to 90%) with no overshoot

Fall Time (switch OFF):

<100 seconds (to <50 volts)

BIAS:

(Referenced to Accelerator)

Voltage:

0 to +1.5kV (max allowable output limited to 2kV)

Current:

150µA maximum

Accuracy (voltage program):

±3% of full scale

Line Regulation:

<±0.1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p

Temperature Coefficient:

<1000ppm/°C

Stability:

1%/10 minutes

Rise Time (switch ON):

<3 seconds (0% to 90%) with no overshoot

Fall Time (switch OFF):

<100 seconds (to <50 volts)

FILAMENT:

(center voltage WRT accelerator output)

Power:

0 to 12W

Load Resistance:

1.33Ω ±5%

Accuracy:

±3% of FS

Load Regulation:

<1% for 10% change in load resistance

Line Regulation:

<1% for 10% line voltage change

Ripple:

<0.1% p-p max

Temperature Coefficient:

<300ppm/°C

Stability:

100ppm/10 minutes

INTERFACE:

Input:

Analog control for accelerator, filament and bias

High Voltage Output:

Custom 3 pin receptacle and cable assembly

Temperature:

Operating: 5°C to +40°C

Storage: -20°C to +50°C

Humidity:

20% to 85% RH, non-condensing

Dimensions:

10.63˝H x 2.36˝W x 7.87˝D (270mm x 60mm x 200mm) excluding any mounting brackets

Weight:

<10 lbs. (4.5kg)

Regulatory Approvals:

UL recognized component (RC). File number E354595. Compliant to IEC/UL 61010-1 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use; CAN/CSA-C22.2 No.61010-1. CE marked to EN 61010-1. UKCA marked to BS EN 61010-1. RoHS compliant. As the unit is designed for incorporation within the users system it is not tested against any specific EMC standards. The user will need to take sensible EMC precautions when designing the unit in and verify the overall system EMC performance against any relevant standards.

POWER INPUT CONNECTOR JHA2 3 PIN JST MODEL B 3PS-VH

CONTROL AND MONITORING CONNECTOR JHA3 10 PIN JST MODEL S10B-EH

Таблицы и диаграммы

HV CABLE ASSEMBLY DETAILS

DIMENSIONS: in.[mm]

SIDE VIEW

TOP VIEW

FRONT VIEW

SIDE VIEW