Ion Milling (Ионное травление)
процесс, при котором газы низкого давления ионизируются, ускоряются и нейтрализуются под воздействием высокого напряжения, создавая нейтральный пучок атомов, облучающих образец и удаляющих материал посредством кинетических или химических процессов.
