Ion Milling (이온 밀링)

고전압 발생원을 활용하여 저압 가스를 이온화하고, 가속 및 중화시켜서 원자로 구성된 중성(neutral) 빔을 발생시키는데, 이 빔은 샘플에 충돌하여 역학적 또는 화학적 과정을 통해 물질을 제거시킨다.