Non Thermal Plasma Reactors (저온 플라즈마 반응기)

플라즈마로 개선된 화학물질 증기 침착, 플라즈마 에칭, 및 플라즈마 세정에 쓰이는 대기와 같은 압력을 갖는 저온의 부분 이온화된 가스를 발생시키는 장치.