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Non Thermal Plasma Reactors (非熱プラズマ反応器)
Non Thermal Plasma Reactors (非熱プラズマ反応器)
は、プラズマ化学気相成長法、プラズマエッチング及びプラズマ洗浄に用いる、低温かつ環境圧力に処理し、部分的にイオン化したガスを発生させる装置である。
2024高電圧リファレンスマニュアル
便利なFAQ、アプリケーションノート、記事、テクニカルペーパー、3つの用語集を1つのリファレンスマニュアルにまとめました
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