Высоковольтный источник питания с электростатическим держателем

Серия ESC источников питания с электростатическим держателем производства компании Spellman обеспечивает чистое и точное напряжение, необходимое для систем с электростатическим держателем пластин для изготовления ИС. Эти заказные, хорошо стабилизированные источники питания с высокой точностью обеспечивают сохранность пластины для изготовления ИС во время длительного технологического цикла. Имеются версии с выходом, инвертируемым относительно земли, а также блоки с истинно плавающим биполярным выходом с привязкой к плавающей средней точке. Комплексная схема диагностики неисправностей отслеживает работу источника питания и передает данные о состоянии системы на пользовательский интерфейс. Источники питания компании Spellman серии ESC устанавливаются в компактные, легкие корпуса, рассчитанные на установку в системы изгото- вителя оригинального оборудования и требующие минимальной площади для монтажа.

Технические характеристики

^{(Ref. 128093-001 REV. B)}

ESC5PN25 

Output Configuration:

Single ground referenced HV output, positive or negative polarity

Input:

+24Vdc, ±5% @ 2 amps, maximum

Output:

+2kV to -5kV. 2mA @ +2kV, 5mA @ -5kV

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

None, ground referenced output

Slew Rate:

80ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Overshoot:

<10% of set point value 

Ripple:

10Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<2% of set point value between 50-5000Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

1% of full scale, ±50mV

Dimensions:

9.W x 1.5.H x 6.1.L (228.6mm x 30.5mm x 155mm)

Weight:

4.5lbs. (2kg)

ESC01.5PN7.5

Output Configuration:

Floating, reversible polarity bipolar output with floating center tap

Input:

+24Vdc, ±10% @ 2 amps, maximum

Output:

Bipolar, 0 to ±750Vdc (0 to 1500Vdc total) @ 5mA

Short Circuit Current Limit:

5.5mA, maximum

Output Isolation:

Center tap is isolated for ±2kV from ground

Slew Rate:

40ms, typical

Maximum Cycle Frequency:

10 times per second

Ripple:

2.5Vrms

Line Regulation:

±0.7% over specified range

Load Regulation:

±0.7% over specified range

Output Voltage Accuracy:

<1% of set point between 50-1500Vdc 

Program/Monitor Accuracy:

0.5% of full scale, ±50mV

Dimensions:

3.4.W x 3.H x 10.5.L (86.5mm x 76.5mm x 266.7mm)

Weight:

5lbs. (2.3kg)