Vacuum Deposition Systems (진공 증착기)

진공 조건에서 고체 표면 위에 열 증착, 스퍼터링, 음극 아크 기화, 레이저 용발 (laser ablation) 또는 화학물질 증기 증착 같은 공정에 의해 개별 원자 또는 개별 분자들을 하나씩 층으로 부착시킴.