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자원
용어 – 응용 프로그램
Electrostatic Chucks (정전 척)
Electrostatic Chucks (정전 척)
반도체 제조 시설에 이용되는 고정용의 작업대 장치로서 제조공정중에 정전기력을 이용하여 실리콘 웨이퍼를 정위치에 고정시킴.
2024 고전압 참조 매뉴얼
우리는 유용한 FAQ, 응용 노트, 기사, 기술 논문 및 용어집 3 개를 모두 하나의 편리한 참조 안내서로 만들었습니다.
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