Electrostatic Chucks (Электростатический держатель)
фиксатор рабочей поверхности, применяемый в производстве полупроводников, который использует электростатические силы для удерживания кремниевой пластины в процессе обработки.
фиксатор рабочей поверхности, применяемый в производстве полупроводников, который использует электростатические силы для удерживания кремниевой пластины в процессе обработки.