물리적증착법

물리적 증기 증착은 다양한 박막 증착 기술을 포괄하는 용어로, 대부분 고전압 DC 전력을 필요로 합니다. 두 가지 매우 일반적인 PVD 공정은 스퍼터링과 전자빔 증착 (e- 빔 증착)입니다. 스펠만은 두 가지 기술에 대해 범용 및 애플리케이션 별 전원 공급 장치를 모두 제공합니다.

스펠만의 EVA 시리즈는 전자빔 증착 시스템에 이상적인 선택입니다. 효율적이고 견고한 고체 상태 회로 토폴로지를 사용하여 설계된 이 공급 장치는 아크에 대한 내성이 높으며, 일관되고 결함 없는 코팅을 유지하는 데 도움이 되도록 다양한 공정 및 증착 조건에 최적화할 수 있는 사용자 구성 가능한 아크 관리 설정을 제공합니다. EVA 시리즈 전원 공급 장치는 통합 필라멘트 공급 장치 및 다중 출력을 포함하여 다양한 구성으로 제공되므로 탁월한 경제성과 유연성을 제공합니다.

전자빔 증착 전원 공급 장치와 마찬가지로 안정적이고 일관된 플라즈마 스퍼터링 공정을 위해서는 아크에 대한 반응이 중요합니다. 예를 들어, 저장된 에너지를 제한하고 아크 복구 시간을 조정하여 스퍼터링에 사용하도록 당사의 표준 랙 마운트 및 모듈 식 공급 장치를 최적화할 수 있습니다. 플라즈마 스퍼터링 전원 공급 장치에 대한 광범위한 요구 사항으로 인해 당사의 애플리케이션 전문가에게 문의하여 고유한 사양을 논의하는 것이 좋습니다.