E-Beam Evaporation (전자빔 증착)

전자 빔으로 진공속에서 물질 (절연체나 도체)을 녹여, 물질들이 기체상으로 바뀌도록 한 다음, 조절 가능한 극히 미세한 안개로 진공 용기 내의 모든 물체들을 피복시키는 피복 공정.