X-Ray Fluorescence (XRF) (蛍光X線（XRF）)

は、未知の試料をX線と衝突させ、そこで発生する電子軌道の空孔に電子が遷移する際に二次蛍光X線が放出されるプロセスである。この二次放出を検出し、分析して材料を識別する。